基本信息:
- 专利标题： 一种循环式三真空室快速磁控镀膜设备及方法
- 申请号：CN202410964442.1 申请日：2024-07-18
- 公开(公告)号：CN118653125B 公开(公告)日：2025-07-29
- 发明人： 朱建明
- 申请人： 肇庆市科润真空设备有限公司
- 申请人地址： 广东省肇庆市端州一路南侧（市财贸学校对面）
- 专利权人： 肇庆市科润真空设备有限公司
- 当前专利权人： 肇庆市科润真空设备有限公司
- 当前专利权人地址： 广东省肇庆市端州一路南侧（市财贸学校对面）
- 代理机构： 广州蓝晟专利代理事务所(普通合伙)
- 代理人： 谢静娜
- 主分类号： C23C14/35
- IPC分类号： C23C14/35 ; C23C14/56
摘要：
本发明公开一种循环式三真空室快速磁控镀膜设备及方法，其设备包括循环设置的前旋转传送台、第一真空室、第二真空室、第三真空室、后旋转传送台和循环传送台，各真空室底部分别设有工件小车的传动组件，各真空室之间分别设有真空门阀；第一真空室与第三真空室并联连接至第一抽真空机组，第二真空室连接至第二抽真空机组。其方法是工件设于工件小车上，依次由前旋转传动台送入第一真空室、第二真空室、第三真空室，在第二真空室中进行镀膜，完成镀膜后由后旋转传送台送出，并通过循环传送台送回至前旋转传送台，循环进入下一次的镀膜作业。本发明设备结构简单紧凑，可实现工件快速循环镀膜。
公开/授权文献:
- CN118653125A 一种循环式三真空室快速磁控镀膜设备及方法 公开/授权日：2024-09-17