基本信息:
- 专利标题： 一种双面研磨工艺的工件自转速度测量方法
- 申请号：CN202410770728.6 申请日：2024-06-14
- 公开(公告)号：CN118456284A 公开(公告)日：2024-08-09
- 发明人： 郭江 , 杨哲 , 蔡卓霖 , 王连林
- 申请人： 大连理工大学
- 申请人地址： 辽宁省大连市高新园区凌工路2号
- 专利权人： 大连理工大学
- 当前专利权人： 大连理工大学
- 当前专利权人地址： 辽宁省大连市高新园区凌工路2号
- 代理机构： 大连东方专利代理有限责任公司
- 代理人： 鲁保良
- 主分类号： B24B49/00
- IPC分类号： B24B49/00 ; B24B37/005 ; B24B37/08
摘要：
本发明公开了一种双面研磨工艺中工件自转速度的测量方法，包括以下步骤：设计专用牺牲环和游星轮；安装工件；安装振动传感器；采集振动数据；计算工件平均转速。本发明通过测量振动数据进而计算工件平均转速，与传统的工件转速测量方法相比，本发明对工件的材质和尺寸没有特别要求，适用性广；本发明采用在工件外圈加装牺牲环的方法，与现有的采用接触式磁感应侦测器测量晶圆转速的方法相比，在不干涉正常加工的同时可一定程度抑制工件表面的塌边现象；本发明利用配套的上位机实时记录振动传感器检测的振动数据，从而能够对采集的振动数据进行分析计算，操作简单，可行性好，同时测量精度较高。