基本信息:
- 专利标题： 高效制备大长径比微电极及直径在线测量的方法
- 申请号：CN202311654745.5 申请日：2023-12-05
- 公开(公告)号：CN117943640B 公开(公告)日：2025-10-03
- 发明人： 申继文 , 孔维静 , 李英 , 王丽 , 曾永彬
- 申请人： 南京航空航天大学
- 申请人地址： 江苏省南京市秦淮区御道街29号
- 专利权人： 南京航空航天大学
- 当前专利权人： 南京航空航天大学
- 当前专利权人地址： 江苏省南京市秦淮区御道街29号
- 代理机构： 江苏圣典律师事务所
- 代理人： 刘辉
- 主分类号： B23H1/00
- IPC分类号： B23H1/00 ; B23H11/00
摘要：
本发明涉及一种高效制备大长径比微电极及直径在线测量的方法，属于电加工技术领域。其特征在于：将微电极的制备过程分为超大余量去除材料、修整电极形状和微量去除材料三个步骤，并在电极制备基础上增设了电极直径在线测量功能。其中，步骤1为超大余量去除材料，目的是快速减小电极直径；步骤2为修整电极形状，对步骤1加工后的电极形状进行修正，提高电极精度；步骤3为微量去除材料，对步骤2加工后的表面再次进行微量去除，提高表面质量。电极制备完成后，分别对矩形量块的左侧和右侧进行短路对刀获得其位置坐标，然后计算两对刀点坐标差与量块宽度的差值，从而获得微电极的直径，进而实现微电极制备及其直径在线测量一体化的目标。
公开/授权文献:
- CN117943640A 高效制备大长径比微电极及直径在线测量的方法 公开/授权日：2024-04-30