基本信息:
- 专利标题： 一种体块态氧化铪基铁电晶体及其制备方法
- 申请号：CN202311298499.4 申请日：2023-10-09
- 公开(公告)号：CN117305980A 公开(公告)日：2023-12-29
- 发明人： 于浩海 , 张怀金 , 王树贤
- 申请人： 山东大学
- 申请人地址： 山东省济南市历城区山大南路27号
- 专利权人： 山东大学
- 当前专利权人： 山东大学
- 当前专利权人地址： 山东省济南市历城区山大南路27号
- 代理机构： 北京慕达星云知识产权代理事务所
- 代理人： 李浩
- 主分类号： C30B29/22
- IPC分类号： C30B29/22 ; C30B13/28 ; C30B13/10 ; C30B33/02
摘要：
本发明公开了一种体块态氧化铪基铁电晶体，结构通式为(RExZryHf1‑x‑y)O2‑0.5x，铁电相空间群为Pbc21，其中，RE为Lu、Dy、Ho、Tm、Sc和Yb中的至少一种，RE的掺杂浓度：0≤x≤0.25，Zr的掺杂浓度：0.3≤y≤0.6。本发明通过氙灯加热的光学浮区法制备晶体，采用Zr和RE共掺，并对稀土掺杂种类、掺杂浓度、原料预烧温度和预烧时间、生长速度，上线旋转杆转速、气氛及气氛流量、退火温度、退火时间等参数优化，最终实现厘米级的晶体质量、铁电性能良好的氧化铪基铁电晶体的制备。制备过程如下：(1)称取RE2O3、ZrO2和HfO2，然后以酒精为分散剂进行湿混，烘干，烧结；(2)原料装进气球捣实后滚成圆柱，抽真空后在等静水压下进行压制，烧结；(3)氙灯加热的光浮区法生长晶体。