基本信息:
- 专利标题： 一种称重装置和蒸镀设备
- 申请号：CN202311329618.8 申请日：2023-10-13
- 公开(公告)号：CN117268523A 公开(公告)日：2023-12-22
- 发明人： 董升 , 韩伟 , 邓浩 , 蔡永安 , 李杰 , 王志强
- 申请人： 隆基绿能科技股份有限公司
- 申请人地址： 陕西省西安市长安区航天中路388号
- 专利权人： 隆基绿能科技股份有限公司
- 当前专利权人： 隆基绿能科技股份有限公司
- 当前专利权人地址： 陕西省西安市长安区航天中路388号
- 代理机构： 北京知迪知识产权代理有限公司
- 代理人： 张子宽
- 主分类号： G01G23/00
- IPC分类号： G01G23/00 ; C23C14/54 ; C23C14/24 ; G01G23/48 ; G01G17/00
摘要：
本发明公开一种称重装置和蒸镀设备，涉及蒸镀工艺技术领域，用于解决称重传感器无法在坩埚高温工况下正常工作的问题。称重装置包括：坩埚；保温热场组件，坩埚位于保温热场组件内，保温热场组件的底部开设有第一通孔；冷却承载组件，承托于保温热场组件的底部，用于支撑保温热场组件并冷却隔热，冷却承载组件开设有第二通孔；隔热杆组，顶端穿过第二通孔和第一通孔并支撑于坩埚的底部；称重传感器，隔热杆组的底端支撑于称重传感器上。在冷却承载组件和隔热杆组的综合隔热冷却作用下，使得称重传感器的工作温度维持正常工作温度，提高了称重传感器的测量精度。