基本信息:
- 专利标题： 超薄薄膜双面镀铜膜的卷绕式磁控溅射镀膜装置及方法
- 申请号：CN202210748971.9 申请日：2022-06-28
- 公开(公告)号：CN115110055A 公开(公告)日：2022-09-27
- 发明人： 朱建明 , 李金明
- 申请人： 肇庆市科润真空设备有限公司
- 申请人地址： 广东省肇庆市端州一路南侧(市财贸学校对面)
- 专利权人： 肇庆市科润真空设备有限公司
- 当前专利权人： 肇庆市科润真空设备有限公司
- 当前专利权人地址： 广东省肇庆市端州一路南侧(市财贸学校对面)
- 代理机构： 广州蓝晟专利代理事务所
- 代理人： 谢静娜
- 主分类号： C23C14/56
- IPC分类号： C23C14/56 ; C23C14/35
摘要：
本发明公开一种超薄薄膜双面镀铜膜的卷绕式磁控溅射镀膜装置及方法，其装置包括一体式的真空镀膜室，沿基材输送方向，真空镀膜室内设有依次连接的多个镀膜辊，每个镀膜辊的外侧分布有多个旋转磁控靶，每个镀膜辊处形成一个镀膜区域；基材经过各镀膜辊时，基材的两面在相邻的镀膜区域之间进行交替镀膜。其方法是利用基材的两面进行交替镀膜，在同一镀膜区域的镀膜过程中，基材的一面通过镀膜辊外侧的旋转磁控靶进行磁控溅射镀膜，基材的另一面紧贴镀膜辊表面进行冷却；基材两面在相邻的镀膜区域之间进行交替镀膜和冷却，从而在镀膜过程中实时降低基材温度和已镀铜膜层的温度。本发明可有效改善基材变形的情况，并可大幅度提高镀膜效率和设备产量。