基本信息:
- 专利标题： 实现半导体晶粒两端面与两侧面非同步等光程成像检测的光学装置与方法
- 申请号：CN202210514315.2 申请日：2022-05-12
- 公开(公告)号：CN114624245A 公开(公告)日：2022-06-14
- 发明人： 廖廷俤 , 颜少彬 , 林晓丹 , 郑恒 , 段亚凡 , 黄衍堂
- 申请人： 泉州师范学院
- 申请人地址： 福建省泉州市东海大街398号
- 专利权人： 泉州师范学院
- 当前专利权人： 泉州师范学院
- 当前专利权人地址： 福建省泉州市东海大街398号
- 代理机构： 福州元创专利商标代理有限公司
- 代理人： 蔡学俊; 林捷
- 主分类号： G01N21/88
- IPC分类号： G01N21/88 ; G02B13/22
摘要：
本发明涉及半导体领域的光学仪器，特别涉及一种实现半导体晶粒两端面与两侧面非同步等光程成像检测的光学装置与方法，其特征在于：其中光学装置的光路方向上依次设置有相机、远心成像镜头、四面合像复合棱镜组件、四组转像棱镜组件、半导体晶粒和玻璃载物转盘，所述四面合像复合棱镜组件位于远心成像镜头的光轴上；该检测装置与方法简化了筛选机系统的结构复杂性，降低了筛选机系统的成本。
公开/授权文献:
- CN114624245B 实现半导体晶粒两端面与两侧面非同步等光程成像检测的光学装置与方法 公开/授权日：2022-09-02
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01N | 借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料 |
| ------G01N21/00 | 利用光学手段，即利用红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料 |
| --------G01N21/01 | .便于进行光学测试的装置或仪器 |
| ----------G01N21/88 | ..测试瑕疵、缺陷或污点的存在 |