基本信息:
- 专利标题： 多手臂气液分离机械手臂
- 申请号：CN202111363978.0 申请日：2021-11-17
- 公开(公告)号：CN113808983B 公开(公告)日：2022-01-18
- 发明人： 魏猛 , 张爽 , 刘伟
- 申请人： 沈阳芯达半导体设备有限公司
- 申请人地址： 辽宁省沈阳市苏家屯区桂竹香街68-E3号
- 专利权人： 沈阳芯达半导体设备有限公司
- 当前专利权人： 沈阳芯达半导体设备有限公司
- 当前专利权人地址： 辽宁省沈阳市苏家屯区桂竹香街68-E3号
- 代理机构： 成都华复知识产权代理有限公司
- 代理人： 李俊
- 主分类号： H01L21/677
- IPC分类号： H01L21/677 ; H01L21/683
摘要：
本发明公开了多手臂气液分离机械手臂，包括机械手，所述机械手的活动端通过螺丝固定安装有气液分离仓，所述气液分离仓的内部安装有气液分离组件，所述气液分离组件包括气液分离箱、盖板、过滤机构、转动机构和进气槽，所述气液分离仓的内部安装有驱动组件，所述气液分离仓的底端通过螺丝固定安装有转动组件，所述转动组件的底端固定连接有转动座，所述转动座的底面分别安装有多手臂组件，通过在机械手臂的活动端上安装有气液分离仓，并通过内部的气液分离箱对吸盘吸入的溶液或者溶剂进行过滤处理，使真空泵和真空电磁阀能够产生真空的吸力同时，溶液和溶剂不会被误入吸进空泵和真空电磁阀而造成损坏。
公开/授权文献:
- CN113808983A 多手臂气液分离机械手臂 公开/授权日：2021-12-17