基本信息:
- 专利标题： 一种含氟氧杂烷烃、包含其的用于半导体制程的冷却剂及用途
- 申请号：CN202111158212.9 申请日：2021-09-30
- 公开(公告)号：CN113773177A 公开(公告)日：2021-12-10
- 发明人： 曾一铮 , 刘星 , 米欣
- 申请人： 深圳市盈石科技有限公司
- 申请人地址： 广东省深圳市福田区福保社区市花路25号利保义生物工程大楼A座309室
- 专利权人： 深圳市盈石科技有限公司
- 当前专利权人： 三明市海斯福化工有限责任公司
- 当前专利权人地址： 365200 福建省三明市明溪县十里埠生态经济区
- 代理机构： 北京中知星原知识产权代理事务所
- 代理人： 张文静; 艾变开
- 主分类号： C07C43/12
- IPC分类号： C07C43/12 ; C07C41/18 ; C07C41/42 ; C07C51/58 ; C07C59/135 ; C07D301/12 ; C07D303/48 ; C09K5/10 ; H01L21/67
摘要：
本发明涉及一种含氟氧杂烷烃、包含其的用于半导体制程的冷却剂及用途。所述用于半导体制程的冷却剂，包含5～20wt％的所述的含氟氧杂烷烃和80wt％以上的2‑氢‑全氟‑5,8,11‑三甲基‑3,6,9,12‑四氧杂十五烷，所述冷却剂的沸程为170～190℃，倾点为‑78～‑82℃，‑20℃的运动粘度12cst以下。本申请提供的含氟氧杂烷烃，适合于与沸点较高的2‑氢‑全氟‑5,8,11‑三甲基‑3,6,9,12‑四氧杂十五烷配合，在保证沸点170～190℃的前提下，增加‑20～‑30℃的冷却剂的流动性。
公开/授权文献:
- CN113773177B 一种含氟氧杂烷烃、包含其的用于半导体制程的冷却剂及用途 公开/授权日：2024-03-12