基本信息:
- 专利标题： 一种真空镀膜设备用预热机构及预热系统
- 申请号：CN202110761950.6 申请日：2021-07-06
- 公开(公告)号：CN113463059A 公开(公告)日：2021-10-01
- 发明人： 王光华
- 申请人： 赫得纳米科技(昆山)有限公司
- 申请人地址： 江苏省苏州市昆山开发区高科技工业园都市路21号
- 专利权人： 赫得纳米科技(昆山)有限公司
- 当前专利权人： 赫得纳米科技(昆山)有限公司
- 当前专利权人地址： 江苏省苏州市昆山开发区高科技工业园都市路21号
- 代理机构： 宿迁市永泰睿博知识产权代理事务所
- 代理人： 刘慧
- 主分类号： C23C14/54
- IPC分类号： C23C14/54 ; C23C14/24
摘要：
本发明涉及一种真空镀膜设备用预热机构，包括依次连接的热回收组件、蓄热组件和预热组件；所述热回收组件包括套接在真空镀膜机本体上的散热水套和连接所述散热水套的热回收水泵，所述热回收水泵的进水口通过进水管与散热水套连接，所述热回收水泵的出水口通过出水管与所述蓄热组件连接。本发明的有益之处在于：能够对真空镀膜机运转过程中产生的热量进行回收利用，使其能够用于待镀膜产品的预热，提高资源的利用率，降低热量的浪费；另外，还能通过蓄热组件对热量进行储蓄，进一步减少热量的损失，提高热量的利用效率。
公开/授权文献:
- CN113463059B 一种真空镀膜设备用预热机构及预热系统 公开/授权日：2024-02-27