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基本信息:
- 专利标题: 一种嵌入式真空扫描盒钛膜冷却装置
- 申请号:CN202011043429.0 申请日:2020-09-28
- 公开(公告)号:CN112399696A 公开(公告)日:2021-02-23
- 发明人: 张海龙 , 谭松清 , 高宁 , 黄敬松 , 单云 , 王复涛 , 封淼伟 , 赵平 , 叶斌 , 王凤涛 , 徐粒峰
- 申请人: 上海高鹰科技有限公司
- 申请人地址: 上海市金山区漕泾镇亭卫公路3308号1幢2层
- 专利权人: 上海高鹰科技有限公司
- 当前专利权人: 上海高鹰科技有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市金山区漕泾镇亭卫公路3308号1幢2层
- 代理机构: 上海申新律师事务所
- 代理人: 沈栋栋
- 主分类号: H05H7/00
- IPC分类号: H05H7/00 ; H05K7/20
摘要:
本发明公开了一种嵌入式真空扫描盒钛膜冷却装置,涉及到电子辐照加速器技术领域,包括导热壳体、冷却液进口管、冷却液出口管、冷却液管道、第一支管路和第二支管路,其中,导热壳体的中部设有束流通过方孔,导热壳体的内部设有两冷却液管道,两冷却液管道位于束流通过方孔的两侧,两冷却液管道的一端通过第一支管路连接,两冷却液管道的另一端通过第二支管路连接,导热壳体的一端设有冷却液进口管,且冷却液进口管与第一支管路连接,导热壳体的另一端设有冷却液出口管,冷却液出口管与第二支管路连接,导热壳体的两侧均匀的设有若干安装孔,导热壳体的上表面设有钛膜导热接触面。其热传导效率高、体积小、成本低、使用方便。