![一种半导体二氧化铈研磨浆液](/CN/2020/1/148/images/202010742568.jpg)
基本信息:
- 专利标题: 一种半导体二氧化铈研磨浆液
- 申请号:CN202010742568.6 申请日:2020-07-29
- 公开(公告)号:CN111718658A 公开(公告)日:2020-09-29
- 发明人: 刘仁军 , 漆书兵 , 周杰 , 易石山 , 谢求泉 , 杨敏
- 申请人: 江西庞泰环保股份有限公司
- 申请人地址: 江西省萍乡市萍乡经济开发区周江管理处
- 专利权人: 江西庞泰环保股份有限公司
- 当前专利权人: 江西庞泰环保股份有限公司
- 当前专利权人地址: 江西省萍乡市萍乡经济开发区周江管理处
- 代理机构: 南昌金轩知识产权代理有限公司
- 代理人: 李楠
- 主分类号: C09G1/02
- IPC分类号: C09G1/02
摘要:
本发明提供一种半导体二氧化铈研磨浆液,属于表面处理领域。其原料组分包括:2-4wt%纳米CeO2、0.2-0.5wt%络合剂、0.2-0.5wt%分散剂、0.2-0.5wt%氧化剂、其余为水。所述络合剂为EDTA、乙二胺四甲叉磷酸钠(EDTMPS)、二乙烯三胺五甲叉膦酸盐(DETPMPS)、胺三甲叉磷酸盐中的任意一种或多种的混合;所述分散剂为六偏磷酸钠、三聚磷酸钠、焦磷酸钠中的任意一种或多种的混合;所述氧化剂为过硫酸铵、过氧化氢、过氧乙酸中的任意一种或多种的混合。将上述原料混合后搅拌均匀,加入KOH调节pH为8-9即得。本发明制备的研磨浆液制备步骤简单,经该研磨浆液抛光处理后的材料表面粗糙度低。
IPC结构图谱:
C | 化学;冶金 |
--C09 | 染料;涂料;抛光剂;天然树脂;黏合剂;其他类目不包含的组合物;其他类目不包含的材料的应用 |
----C09G | 虫胶清漆除外的抛光组合物;滑雪屐蜡 |
------C09G1/00 | 抛光组合物 |
--------C09G1/02 | .含有磨料或研磨剂 |