基本信息:
- 专利标题： 单片集成多针板放电离子源与FAIMS分析器的装置及工作方法
- 申请号：CN202010186339.0 申请日：2020-03-17
- 公开(公告)号：CN111370291A 公开(公告)日：2020-07-03
- 发明人： 李山 , 陈池来 , 刘友江 , 胡俊
- 申请人： 中国科学院合肥物质科学研究院
- 申请人地址： 安徽省合肥市蜀山区蜀山湖路350号
- 专利权人： 中国科学院合肥物质科学研究院
- 当前专利权人： 中国科学院合肥物质科学研究院
- 当前专利权人地址： 安徽省合肥市蜀山区蜀山湖路350号
- 代理机构： 合肥国和专利代理事务所
- 代理人： 张祥骞
- 主分类号： H01J49/16
- IPC分类号： H01J49/16 ; G01N27/62
摘要：
本发明涉及单片集成多针板放电离子源与FAIMS分析器的装置及工作方法。装置包括由上基板、离子源中间垫片和中基板围成的离化腔体，由中基板、FAIMS分析器中间垫片和下基板围成的检测腔体。离化腔体为离化区，包括多针板电极和离子源板电极。检测腔体的中段为分析区，包括FAIMS分离上电极和FAIMS分离下电极。检测腔体的右端为离子检测区，包括FAIMS致偏电极和样品特征离子检测电极。上基板的左端开设有进样口，分析区左侧的中间基板上开设有FAIMS分析器离子入口，FAIMS分析器中间垫片的右端开设有尾气出口。本发明能够提高待测样品的离子化效率，解决了离化区、分析区长距离离子传输的损耗问题和仪器微型化困难的难题，有利于拓展FAIMS技术的现场检测领域。
公开/授权文献:
- CN111370291B 单片集成多针板放电离子源与FAIMS分析器的装置及工作方法 公开/授权日：2022-10-11