基本信息:
- 专利标题： 一种多用碳化硅晶片传输机械手
- 申请号：CN201911392586.X 申请日：2019-12-30
- 公开(公告)号：CN111037580B 公开(公告)日：2021-05-04
- 发明人： 刘胜 , 王诗兆 , 东芳 , 李瑞 , 薛良豪
- 申请人： 武汉大学
- 申请人地址： 湖北省武汉市武昌区珞珈山武汉大学
- 专利权人： 武汉大学
- 当前专利权人： 武汉大学
- 当前专利权人地址： 湖北省武汉市武昌区珞珈山武汉大学
- 代理机构： 武汉科皓知识产权代理事务所
- 代理人： 黄靖
- 主分类号： B25J11/00
- IPC分类号： B25J11/00 ; B25J15/02 ; B25J15/06
摘要：
本发明公开了一种多用碳化硅晶片传输机械手，包括衬板；主传动齿轮和副传动齿轮，主后辅臂和副后辅臂，动力输入模块，动力输入模块给机主传动齿轮提供动力输入带动主传动齿轮转动；主抓取臂和副抓取臂，主抓取臂与主传动齿轮和主后辅臂铰接，与主传动齿轮和主后辅臂铰接；主上前辅臂和主下前辅臂的一端分别铰接在衬板的上表面和下表面，另一端分别铰接在主抓取臂中部的上端和下端，副上前辅臂和副下前辅臂的一端分别铰接在衬板的上表面和下表明，另一端分别铰接在副抓取臂中部的上端和下端；直径调节模块分别安装在主抓取臂和副抓取臂的末端。本发明可实现二级抓取，实现了有限空间内不同腔体间的高效协调运作。
公开/授权文献:
- CN111037580A 一种多用碳化硅晶片传输机械手 公开/授权日：2020-04-21
IPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B25 | 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手 |
| ----B25J | 机械手；装有操纵装置的容器 |
| ------B25J11/00 | 不包含在其他组的机械手 |