基本信息:
- 专利标题： 一种靶材背管及其生产方法
- 申请号：CN201911308265.7 申请日：2019-12-18
- 公开(公告)号：CN110983263A 公开(公告)日：2020-04-10
- 发明人： 廖龙辉 , 罗文富
- 申请人： 厦门佰事兴新材料科技有限公司
- 申请人地址： 福建省厦门市同安区洪塘镇苏厝路73号1#厂房第一层之一
- 专利权人： 厦门佰事兴新材料科技有限公司
- 当前专利权人： 厦门佰事兴新材料科技有限公司
- 当前专利权人地址： 福建省厦门市同安区洪塘镇苏厝路73号1#厂房第一层之一
- 代理机构： 厦门荔信航知专利代理事务所
- 代理人： 谭琳娜
- 主分类号： C23C14/34
- IPC分类号： C23C14/34 ; C23C14/35
摘要：
本发明公开了一种靶材背管，涉及靶材加工技术领域，其技术方案要点是：包括背管本体与两个对接头，所述对接头的半径大于背管本体的半径，所述对接头上设置有用于与背管本体端部对接的连接部，两所述对接头的连接部通过外接固定方式分别固定连接于背管本体的两端上。通过将对接头利用连接部与背管本体连接，即可成型靶材背管，从而无需对靶材背管中间段进行切割，降低材料浪费程度，具有提高资源利用率的效果。