基本信息:
- 专利标题： 一种硅片偏心测试用装卡机构
- 申请号：CN201810319582.8 申请日：2018-04-11
- 公开(公告)号：CN110360977B 公开(公告)日：2021-01-19
- 发明人： 张心明 , 李俊烨 , 尚春民 , 刘建河 , 王德民 , 范景峰 , 周化文 , 修航
- 申请人： 长春理工大学
- 申请人地址： 吉林省长春市卫星路7186号
- 专利权人： 长春理工大学
- 当前专利权人： 长春理工大学
- 当前专利权人地址： 吉林省长春市卫星路7186号
- 主分类号： G01B21/24
- IPC分类号： G01B21/24
摘要：
本发明公开了一种硅片偏心测试用装卡机构，包括底座，所述底座的前后端上表面固定连接有支撑板，所述支撑板的上端内侧表面通过螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆的内侧表面设有放置槽，所述螺纹杆的放置槽处内侧表面固定连接有转轴，所述转轴的内侧表面固定连接有凸形圆杆，所述凸形圆杆的内侧表面通过滑槽滑动连接有挤压块，所述挤压块的内侧表面固定连接有第一弹簧，所述挤压块的内侧表面挤压有硅片，所述螺纹杆的外侧表面固定连接有第一转盘，所述第一转盘的外侧表面固定连接有工形圆柱把手，所述工形圆柱把手的外侧表面转动套接有圆管，该硅片偏心测试用装卡机构，方便固定硅片，使用方便，结构简单，操作方便。
公开/授权文献:
- CN110360977A 一种硅片偏心测试用装卡机构 公开/授权日：2019-10-22
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01B | 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 |
| ------G01B21/00 | 不适合于本小类其他组中所列的特定类型计量装置的计量设备或其零部件 |
| --------G01B21/22 | .用于计量角度或锥度；用于检测轴线准直 |
| ----------G01B21/24 | ..用于检测轴线准直 |