基本信息:
- 专利标题： 一种掺杂Cr的DLC涂层的制备方法
- 申请号：CN201910662656.2 申请日：2019-07-22
- 公开(公告)号：CN110306153A 公开(公告)日：2019-10-08
- 发明人： 唐坤 , 王广欣 , 朱宇杰 , 孙浩亮 , 海茵茨罗尔夫斯托克
- 申请人： 河南科技大学
- 申请人地址： 河南省洛阳市洛龙区开元大道263号
- 专利权人： 河南科技大学
- 当前专利权人： 河南科技大学
- 当前专利权人地址： 河南省洛阳市洛龙区开元大道263号
- 代理机构： 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司
- 代理人： 刘玉珠
- 主分类号： C23C14/02
- IPC分类号： C23C14/02 ; C23C14/06 ; C23C14/14 ; C23C14/34
摘要：
本发明公开了一种掺杂Cr的DLC涂层的制备方法，充分利用了高功率脉冲磁控溅射膜层光洁度、均匀度、致密度高的优点，为改善DLC涂层结合力和膜层韧性差的缺点，采用了底层和过渡层设计方法。这一独特的膜系设计和参杂工艺既保证了涂层结合力的提高，又保证了涂层沉积速率、涂层致密性和耐磨减摩性能的提高。采用本发明的方法制备的掺Cr的DLC涂层外观呈灰黑色，表面光滑致密，涂层的硬度32GPa，膜基结合力达到72N，涂层厚度为1.45μm。涂层的干摩擦系数为0.2。表明掺Cr的DLC涂层具有良好的耐磨和减摩性能。