基本信息:
- 专利标题： 一种阵列多孔空心阴极放电电子源
- 申请号：CN201811360713.3 申请日：2018-11-15
- 公开(公告)号：CN109686631B 公开(公告)日：2021-01-29
- 发明人： 郎文昌
- 申请人： 温州职业技术学院
- 申请人地址： 浙江省温州市瓯海区东方南路38号温州市国家大学科技园孵化器
- 专利权人： 温州职业技术学院
- 当前专利权人： 嘉兴艾钛科纳米科技有限公司
- 当前专利权人地址： 浙江省温州市瓯海区东方南路38号温州市国家大学科技园孵化器
- 代理机构： 温州名创知识产权代理有限公司
- 代理人： 陈加利
- 主分类号： H01J1/02
- IPC分类号： H01J1/02 ; H01J1/35 ; C23C14/24
摘要：
本发明公开了一种阵列多孔空心阴极放电电子源，包括基座、磁体、绝缘组件、进气座、阵列多孔板、阴极环，其中进气座及阵列多孔板、阴极环为同电位的放电组件，绝缘组件将放电组件与基座之间形成电位绝缘；阵列多孔板为放电金属板，其上设置有多个阵列贯通孔，放电组件在一定真空度时产生辉光放电，放电过程中贯通孔会产生空心阴极效应电子汇聚，同时阴极环在放电过程中会进一步产生大量放电电子，同时会吸收阳离子；磁体套装在基座上，空心阴极放电效应中的阵列多孔板及阴极环在磁场的作用下，实现高能电子的射出。本发明利用贯通孔辉光放电过程中的空心阴极效应及阴极环吸收阳离子并在磁场下汇聚射出电子，为真空涂层工艺过程提供高能电子。
公开/授权文献:
- CN109686631A 一种阵列多孔空心阴极放电电子源 公开/授权日：2019-04-26