基本信息:
- 专利标题： 一种静态工作点温度稳定的共路干涉电场传感器
- 申请号：CN201811405897.0 申请日：2018-11-23
- 公开(公告)号：CN109507490B 公开(公告)日：2020-10-16
- 发明人： 曾嵘 , 庄池杰 , 汪海 , 马昕雨
- 申请人： 清华大学
- 申请人地址： 北京市海淀区双清路30号
- 专利权人： 清华大学
- 当前专利权人： 清华大学
- 当前专利权人地址： 北京市海淀区双清路30号
- 代理机构： 北京君泊知识产权代理有限公司
- 代理人： 王程远; 胡玉章
- 主分类号： G01R29/12
- IPC分类号： G01R29/12 ; G01R1/44
摘要：
本发明涉及一种静态工作点温度稳定的共路干涉电场传感器，属于光学电场测量技术领域。所述传感器包括铌酸锂晶体、钛扩散铌酸锂波导、电极和天线，以所述钛扩散铌酸锂波导的传播方向为z轴，将二氧化钛作为磁控溅射靶，在所述钛扩散铌酸锂波导的上表面进行磁控溅射，磁控溅射的压强为2.5～5毫托，磁控溅射时间为2～16.5小时，在钛扩散铌酸锂波导的上表面得到二氧化钛薄膜。本发明所述传感器，在铌酸锂波导上镀了一层二氧化钛薄膜，在不影响已有传感器原有测量灵敏度和准确性的基础上，对铌酸锂波导的正温度系数进行了补偿，从而大大提升了传感器静态工作点的温度稳定性。
公开/授权文献:
- CN109507490A 一种静态工作点温度稳定的共路干涉电场传感器 公开/授权日：2019-03-22
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01R | 测量电变量；测量磁变量（通过转换成电变量对任何种类的物理变量进行测量参见G01类名下的 |
| ------G01R29/00 | 不包括在G01R19/00至G01R27/00各组中的电量的测量或指示装置 |
| --------G01R29/12 | .静电场的测量 |