基本信息:
- 专利标题： 石墨烯-碳纳米管FET器件的加工方法
- 申请号：CN201810877768.5 申请日：2018-08-03
- 公开(公告)号：CN109052317B 公开(公告)日：2021-10-01
- 发明人： 解双喜 , 秦莉莉 , 王亚锋 , 贠革鑫 , 孔振威 , 李光喜 , 陈凡 , 曹森鹏 , 赵志敏 , 代克杰
- 申请人： 平顶山学院
- 申请人地址： 河南省平顶山市新城区未来路南段
- 专利权人： 平顶山学院
- 当前专利权人： 平顶山学院
- 当前专利权人地址： 河南省平顶山市新城区未来路南段
- 代理机构： 郑州豫开专利代理事务所
- 代理人： 朱俊峰
- 主分类号： H01L29/40
- IPC分类号： H01L29/40 ; H01L29/772 ; B82Y40/00
摘要：
石墨烯‑碳纳米管FET器件的加工方法，包括以下步骤，（1）、将石墨烯片装配到切割加工系统上；（2）、对切割加工系统设定切割作用力、切割速度和切割路径；（3）、将石墨烯片切割加工为石墨烯纳米带；（4）、加工出石墨烯纳米电极；（5）、建立单壁碳纳米管在非均匀电场中的受力模型；（6）、滴定单壁碳纳米管溶液到石墨烯纳米电极切断后的纳米间隙处。本发明加工方法精度高、鲁棒性强、操作简单、灵活、成本低廉。本发明加工的具有纳米间隙的石墨烯纳米电极可以作为探针用于纳米点电特性测试，以及微环境中生物分子的检测，具有更高的灵敏度，为构建体积更小、性能更高的微纳电子设备提供了新的途径。
公开/授权文献:
- CN109052317A 石墨烯-碳纳米管FET器件的加工方法 公开/授权日：2018-12-21