基本信息:
- 专利标题： 多膜层连续镀膜设备及方法
- 申请号：CN201810696329.4 申请日：2018-06-29
- 公开(公告)号：CN108517504A 公开(公告)日：2018-09-11
- 发明人： 朱建明
- 申请人： 肇庆市科润真空设备有限公司
- 申请人地址： 广东省肇庆市端州大道
- 专利权人： 肇庆市科润真空设备有限公司
- 当前专利权人： 肇庆市科润真空设备有限公司
- 当前专利权人地址： 广东省肇庆市端州大道
- 代理机构： 广州市华学知识产权代理有限公司
- 代理人： 谢静娜
- 主分类号： C23C14/35
- IPC分类号： C23C14/35 ; C23C14/56 ; C23C14/50
摘要：
本发明公开一种多膜层连续镀膜设备及方法，其设备包括依次连接的表面处理室、多膜层镀膜室和出片真空室，各真空室内均设有工件往复移动机构；工件往复移动机构设于基片架下方，基片架上方设有磁导向机构，工件往复移动机构中的主动驱动托轮和从动支承轮分别设于真空室内的安装支架上，相邻的两个主动驱动托轮之间分布有多个从动支承轮，在主动驱动托轮的带动下，基片架沿从动支承轮和磁导向机构进行往复移动。其方法是工件往复移动机构带动基片架及工件在表面处理室内往复移动进行多次表面粗化和清洁处理；然后在多膜层镀膜室内往复移动，实现多膜层镀膜；最后从出片真空室将工件送出。本发明可有效简化设备结构，提高镀膜效率和膜层均匀度。