基本信息:
- 专利标题： 具有扩散截止通道的微机械构件
- 申请号：CN201710032426.9 申请日：2017-01-16
- 公开(公告)号：CN106976839B 公开(公告)日：2023-04-28
- 发明人： A·布莱特林 , F·赖兴巴赫 , J·莱茵穆特 , J·阿姆托尔
- 申请人： 罗伯特·博世有限公司
- 申请人地址： 德国斯图加特
- 专利权人： 罗伯特·博世有限公司
- 当前专利权人： 罗伯特·博世有限公司
- 当前专利权人地址： 德国斯图加特
- 代理机构： 永新专利商标代理有限公司
- 代理人： 侯鸣慧
- 优先权： 102016200499.9 20160116 DE
- 主分类号： B81C1/00
- IPC分类号： B81C1/00 ; B81B7/00 ; G01P3/26 ; G01P15/00
摘要：
本发明提出用于制造微机械构件的方法，具有衬底和与衬底连接且与衬底包围第一空穴的罩，在第一空穴中存在第一压力且包含具有第一化学组分的第一气体混合物，罩与衬底包围第二空穴，第二空穴中存在第二压力且包含具有第二化学组分的第二气体混合物，第一方法步骤中，在衬底或罩中构造连接第一空穴与微机械构件周围环境的进入开口，第二方法步骤中，设定第一空穴中的第一压力和/或第一化学组分，第三方法步骤中，通过借助于激光将能量引入到衬底或罩的吸收部分中来封闭进入开口，第四方法步骤中，构造布置在第一空穴与第二空穴之间的空隙，用于排出第一气体混合物的第一微粒类型和/或第二气体混合物的第二微粒类型。
公开/授权文献:
- CN106976839A 具有扩散截止通道的微机械构件 公开/授权日：2017-07-25
IPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B81 | 微观结构技术 |
| ----B81C | 专门适用于制造或处理微观结构的装置或系统的方法或设备 |
| ------B81C1/00 | 在基片内或其上制造或处理的装置或系统 |