基本信息:
- 专利标题： 电子显微镜及试样的观察方法
- 申请号：CN201580035457.9 申请日：2015-06-08
- 公开(公告)号：CN106663584B 公开(公告)日：2018-10-30
- 发明人： 矢口纪惠 , 小林弘幸 , 四辻贵文
- 申请人： 株式会社日立高新技术
- 申请人地址： 日本东京
- 专利权人： 株式会社日立高新技术
- 当前专利权人： 株式会社日立高新技术
- 当前专利权人地址： 日本东京
- 代理机构： 上海专利商标事务所有限公司
- 代理人： 宋俊寅
- 优先权： 2014-139273 2014.07.07 JP
- 国际申请： PCT/JP2015/066424 2015.06.08
- 国际公布： WO2016/006375 JA 2016.01.14
- 进入国家日期： 2016-12-29
- 主分类号： H01J37/22
- IPC分类号： H01J37/22 ; H01J37/26 ; H01J37/28
摘要：
本发明提供一种不论试样、晶体取向的种类为何，即使不是熟练者，也能够处理量良好且高精度地对准晶体取向并观察试样的装置及方法。本发明中，基于显示在显示部(13)上的电子束衍射图案(22b)中的衍射斑点的亮度分布，设定以主斑点(23)位于圆周上的方式重叠显示的拟合用圆形图案(26)，并设定显示为以该显示的圆形图案(26)的中心位置(27)为起点且以位于圆形图案(26)的圆周上的主斑点(23)的位置为终点的矢量(28)，基于该显示的矢量(28)的方向及大小，执行晶体取向对准。由此，不论试样、晶体取向的种类为何，即使不是熟练者，也能够处理量良好且高精度地对准晶体取向并观察试样。
公开/授权文献:
- CN106663584A 电子显微镜及试样的观察方法 公开/授权日：2017-05-10