基本信息:
- 专利标题： 一种MEMS电极式低电导率传感器及其测量方法
- 申请号：CN201611026949.4 申请日：2016-11-16
- 公开(公告)号：CN106501615B 公开(公告)日：2019-03-01
- 发明人： 刘海韵 , 胡居荣 , 平学伟 , 魏爽
- 申请人： 河海大学
- 申请人地址： 江苏省南京市江宁开发区佛城西路8号
- 专利权人： 河海大学
- 当前专利权人： 河海大学
- 当前专利权人地址： 江苏省南京市江宁开发区佛城西路8号
- 代理机构： 南京经纬专利商标代理有限公司
- 代理人： 朱小兵; 刘莎
- 主分类号： G01R27/22
- IPC分类号： G01R27/22
摘要：
本发明公开了一种MEMS电极式低电导率传感器及其测量方法，属于微电子机械系统制造及水质检测领域。该传感器由绝缘衬底、三个平面矩形电极和两对平面叉指电极组成，所有电极依次水平排开，并呈左右对称分布，三个平面矩形电极大小相等，相互平行排布于两端和正中间，并作为电流电极，用于施加激励信号，两对平面叉指电极对大小相等，相互平行排布于两个平面矩形电极之间，并作为电压电极，用于检测响应信号。本发明提供的传感器结构简单，操作方便，基于MEMS加工技术，工艺简单，成本低廉，体积小巧，通用性强，可靠性高，适用于低浓度水体的电导率测量。
公开/授权文献:
- CN106501615A 一种MEMS电极式低电导率传感器及其测量方法 公开/授权日：2017-03-15
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01R | 测量电变量；测量磁变量（通过转换成电变量对任何种类的物理变量进行测量参见G01类名下的 |
| ------G01R27/00 | 测量电阻、电抗、阻抗或其派生特性的装置 |
| --------G01R27/02 | .电阻、电抗、阻抗或其派生的其他两端特性，例如时间常数的实值或复值测量 |
| ----------G01R27/22 | ..流体电阻的测量 |