基本信息:
- 专利标题： 压电元件和压电元件应用设备
- 专利标题（英）：PIEZOELECTRIC ELEMENT AND PIEZOELECTRIC ELEMENT APPLICATION DEVICE
- 申请号：CN201610191495.X 申请日：2016-03-30
- 公开(公告)号：CN106229405A 公开(公告)日：2016-12-14
- 发明人： 酒井朋裕 , 角浩二 , 一色铁也 , 高桥敏明 , 古林智一 , 北田和也
- 申请人： 精工爱普生株式会社
- 申请人地址： 日本东京都
- 专利权人： 精工爱普生株式会社
- 当前专利权人： 精工爱普生株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京都
- 代理机构： 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理人： 苗堃; 金世煜
- 优先权： 2015-112680 2015.06.02 JP
- 主分类号： H01L41/08
- IPC分类号： H01L41/08 ; H01L41/18 ; H01L41/187 ; B41J2/045
摘要：
本发明提供一种实现了压电特性的提高和漏电流的抑制中的至少一方的压电元件及压电元件应用设备。压电元件(300)具备：第1电极由包含钾、钠、铌的钙钛矿型结构的复合氧化物构成的压电体层(70)；设置在上述压电体层(70)上的第2电极(80)，将上述压电体层(70)以10万倍拍摄截面SEM图像并在横向的测定值成为1273nm的条件下进行评价时，在该压电体层(70)中含有2个以上的空隙(75)，各空隙的在膜厚方向成为最大的直径中，最大值与最小值之差为14nm以下且上述最大值为24nm以下。(60)；通过溶液法在上述第1电极(60)上形成的
摘要（英）：
The invention provides a piezoelectric element and a piezoelectric element application device by which piezoelectric property is improved and/or current leakage is inhibited. A piezoelectric element is provided which includes: a first electrode (60), a piezoelectric layer (70) formed of perovskite potassium sodium niobate by chemical solution deposition on the first electrode (60), and a second electrode (80) provided thereon. Voids (75) are included in the piezoelectric layer such that a difference between the maximum value and the minimum value of void dimensions (w) in film thickness direction (Z) is equal to or smaller than 14 nm, and the maximum value is equal to or smaller than 24 nm in cross-sectional SEM image.
公开/授权文献:
- CN106229405B 压电元件和压电元件应用设备 公开/授权日：2018-11-23
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H04 | 电通信技术 |
| ----H04R | 扬声器、送话器、唱机拾音器或类似的传感器 |
| ------H01L41/08 | .压电器件或电致伸缩器件 |