基本信息:
- 专利标题： 公转与自转均可独立调速的真空镀膜机工件转架运动机构
- 专利标题（英）：Vacuum plating workpiece rotating stand motion mechanism allowing speed to be adjusted independently during revolution and autorotation
- 申请号：CN201610099320.6 申请日：2016-02-23
- 公开(公告)号：CN105603377A 公开(公告)日：2016-05-25
- 发明人： 李志荣 , 潘锐华 , 罗志明 , 李志方
- 申请人： 东莞市汇成真空科技有限公司
- 申请人地址： 广东省东莞市大岭山镇颜屋村第四工业区
- 专利权人： 东莞市汇成真空科技有限公司
- 当前专利权人： 广东汇成真空科技股份有限公司
- 当前专利权人地址： 广东省东莞市大岭山镇颜屋村第四工业区
- 代理机构： 广州知友专利商标代理有限公司
- 代理人： 何秋林; 周克佑
- 主分类号： C23C14/50
- IPC分类号： C23C14/50
摘要：
本发明公开了一种公转与自转均可独立调速的真空镀膜机工件转架运动机构，本发明设置两个驱动机构，并通过设计工件转架三重运动机构之间的联动关系，使本发明工件转架运动机构具有多种不同的运动模式，从而使本发明的工件转架运动机构除完成现有工件转架的三重运动外，还可通过对两个驱动机构的控制，使采用本发明的工件转架运动机构的工件转架的公转与自转均可独立调速。
摘要（英）：
The invention discloses a vacuum plating workpiece rotating stand motion mechanism allowing speed to be adjusted independently during revolution and autorotation. The motion mechanism is provided with two drive mechanisms. By designing the linkage relation among three motion mechanism bodies of a workpiece rotating stand, the workpiece rotating stand motion mechanism has multiple different motion modes, can complete triple motion of an existing workpiece rotating stand, and can also allow the speed to be adjusted independently during revolution and autorotation of the workpiece rotating stand adopting the workpiece rotating stand motion mechanism by means of control over the two drive mechanisms.
公开/授权文献:
- CN105603377B 公转与自转均可独立调速的真空镀膜机工件转架运动机构 公开/授权日：2018-06-08