基本信息:
- 专利标题： 以有机金属溶液为主的高分辨率图案化组合物
- 申请号：CN201480051859.3 申请日：2014-07-25
- 公开(公告)号：CN105579906B 公开(公告)日：2020-04-03
- 发明人： S·T·迈耶斯 , D·A·凯斯勒 , 蒋凯 , J·安德森 , A·格伦维尔
- 申请人： 因普利亚公司
- 申请人地址： 美国俄勒冈州
- 专利权人： 因普利亚公司
- 当前专利权人： 因普利亚公司
- 当前专利权人地址： 美国俄勒冈州
- 代理机构： 北京律盟知识产权代理有限责任公司
- 代理人： 王允方
- 优先权： 13/973,098 2013.08.22 US
- 国际申请： PCT/US2014/048212 2014.07.25
- 国际公布： WO2015/026482 EN 2015.02.26
- 进入国家日期： 2016-03-21
- 主分类号： G03C1/00
- IPC分类号： G03C1/00
摘要：
已发现有机金属溶液可提供使用薄涂层的以高分辨率辐射为主的图案化。所述图案化可涉及辐照具有所选图案的经涂布表面和用显影剂使所述图案显影以形成经显影的图像。基于使用有机显影剂或水性酸或碱显影剂，所述可图案化涂层容易正型图案化或负型图案化。辐射敏感涂层可包含具有有机配体的金属氧/羟网状物。前体溶液可包含有机液体和金属多核氧‑羟阳离子，其具有含有金属碳键和/或金属羧酸盐键的有机配体。
摘要（英）：
Organometallic solutions have been found to provide high resolution radiation based patterning using thin coatings. The patterning can involve irradiation of the coated surface with a selected pattern and developing the pattern with a developing agent to form the developed image. The patternable coatings may be susceptible to positive-tone patterning or negative-tone patterning based on the use of an organic developing agent or an aqueous acid or base developing agent. The radiation sensitive coatings can comprise a metal oxo/hydroxo network with organic ligands. A precursor solution can comprise an organic liquid and metal polynuclear oxo-hydroxo cations with organic ligands having metal carbon bonds and/or metal carboxylate bonds.
公开/授权文献:
- CN105579906A 以有机金属溶液为主的高分辨率图案化组合物 公开/授权日：2016-05-11
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G03 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术 |
| ----G03C | 照相用的感光材料（照相制版用的入G03F）；照相过程，例如，电影、X射线、彩色、立体照相过程；照相的辅助过程 |
| ------G03C1/00 | 感光材料 |