基本信息:
- 专利标题： 线放电加工设备和方法、电源设备、半导体基板制造方法
- 申请号：CN201410302212.5 申请日：2014-06-27
- 公开(公告)号：CN104249201B 公开(公告)日：2017-04-12
- 发明人： 栗原治弥
- 申请人： 佳能市场营销日本株式会社 , 株式会社牧野铣床制作所
- 申请人地址： 日本东京;
- 专利权人： 佳能市场营销日本株式会社,株式会社牧野铣床制作所
- 当前专利权人： 佳能市场营销日本株式会社,株式会社牧野铣床制作所
- 当前专利权人地址： 日本东京;
- 代理机构： 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理人： 于丽
- 优先权： 2013-135720 20130628 JP 2014-061434 20140325 JP
- 主分类号： B23H7/02
- IPC分类号： B23H7/02
摘要：
本发明涉及线放电加工设备、线放电加工系统、电源设备、线放电加工方法和制造半导体基板的方法，其中线放电加工设备包括：多个主辊，线平行地缠绕所述多个主辊；多个工件给进单元，用于将所述工件向着线给进；加工电源单元，用于向所述工件供应加工电压；电源端子，用于向线供应所述加工电压。所述多个工件给进单元分别布置在第一位置和第二位置，在所述第一位置，向着具有线的线平面的线部分给进工件，在所述第二位置，向着具有线的另一线平面的另一线部分给进另一工件。所述电源端子布置在所述第一位置和所述第二位置之间的第三位置。从单个加工电源单元供应的加工电压被供应到将由所述多个工件给进单元而被放电加工的工件。
公开/授权文献:
- CN104249201A 线放电加工设备和方法、电源设备、半导体基板制造方法 公开/授权日：2014-12-31
IPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B23 | 机床；不包含在其他类目中的金属加工 |
| ----B23H | 用电极代替刀具，以电流高度集中的作用在工件上的金属加工；这种加工与其他方式的金属加工的组合 |
| ------B23H7/00 | 可兼用于放电加工和电化加工的方法或设备 |
| --------B23H7/02 | .线切割 |