基本信息:
- 专利标题： 压电薄膜元件、压电传感器和振动发电机
- 申请号：CN201410101620.4 申请日：2014-03-18
- 公开(公告)号：CN104064670B 公开(公告)日：2018-05-01
- 发明人： 柴田宪治 , 野口将希 , 末永和史 , 渡边和俊 , 堀切文正
- 申请人： 住友化学株式会社
- 申请人地址： 日本东京都
- 专利权人： 住友化学株式会社
- 当前专利权人： 住友化学株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京都
- 代理机构： 北京银龙知识产权代理有限公司
- 代理人： 钟晶; 於毓桢
- 优先权： 2013-056521 2013.03.19 JP
- 主分类号： H01L41/187
- IPC分类号： H01L41/187 ; H01L41/08 ; H01L41/113
A piezoelectric thin-film element includes a substrate, a lower electrode layer formed on the substrate, a piezoelectric thin-film layer that is formed on the lower electrode layer and includes potassium sodium niobate having a perovskite structure represented by the composition formula of (K1-xNax)NbO3 (0.4≦x≦0.7), and an upper electrode layer formed on the piezoelectric thin-film layer. The piezoelectric thin-film layer is formed such that a value of (Ec−+Ec+)/2 is not less than 10.8 kV/cm and a value of (Pr−+Pr+)/2 is not more than −2.4 μC/cm2 where Ec− and Ec+ are intersection points of a polarization-electric field hysteresis loop and the x-axis indicating an electric field and Pr− and Pr+ are intersection points of the polarization-electric field hysteresis loop and the y-axis indicating polarization.
公开/授权文献:
- CN104064670A 压电薄膜元件、压电传感器和振动发电机 公开/授权日：2014-09-24
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H04 | 电通信技术 |
| ----H04R | 扬声器、送话器、唱机拾音器或类似的传感器 |
| ------H01L41/16 | .材料的选择 |
| --------H01L41/18 | ..用于压电器件或电致伸缩器件的 |
| ----------H01L41/187 | ...陶瓷合成物 |