![带电粒子束装置及样品制作方法](/CN/2012/8/5/images/201280028058.jpg)
基本信息:
- 专利标题: 带电粒子束装置及样品制作方法
- 申请号:CN201280028058.6 申请日:2012-05-16
- 公开(公告)号:CN103608891B 公开(公告)日:2015-07-29
- 发明人: 南里光荣 , 富松聪
- 申请人: 株式会社日立高新技术
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 株式会社日立高新技术
- 当前专利权人: 株式会社日立高新技术
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理人: 王亚爱
- 优先权: 2011-126235 2011.06.06 JP
- 国际申请: PCT/JP2012/062469 2012.05.16
- 国际公布: WO2012/169323 JA 2012.12.13
- 进入国家日期: 2013-12-06
- 主分类号: H01J37/317
- IPC分类号: H01J37/317 ; H01J37/30 ; H01J37/304
摘要:
一种带电粒子束装置,在具有样品依赖性的FIB加工中,不受操作者的个人差异的影响,能够高效地加工成期望的形状。在带电粒子束装置中安装:将由离子源产生的离子束照射给样品的离子束光学系统装置及其控制装置;检测样品的组成元素的元素检测器及其控制装置;和基于由元素检测器确定的元素来自动设定样品的加工条件的中央处理装置。
公开/授权文献:
- CN103608891A 带电粒子束装置及样品制作方法 公开/授权日:2014-02-26
IPC结构图谱:
H | 电学 |
--H01 | 基本电气元件 |
----H01J | 放电管或放电灯 |
------H01J37/00 | 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,如为了对其检验或加工的 |
--------H01J37/02 | .零部件 |
----------H01J37/317 | ..用于改变物体的特性或在其上加上薄层的,如离子注入 |