基本信息:
- 专利标题： 氮化物结晶的制造方法、氮化物结晶及其制造装置
- 申请号：CN201080004166.0 申请日：2010-01-07
- 公开(公告)号：CN102272357A 公开(公告)日：2011-12-07
- 发明人： 三川丰 , 清见真纪子 , 镜谷勇二 , 石黑彻
- 申请人： 三菱化学株式会社 , 国立大学法人东北大学
- 申请人地址： 日本东京都
- 专利权人： 三菱化学株式会社,国立大学法人东北大学
- 当前专利权人： 三菱化学株式会社,国立大学法人东北大学
- 当前专利权人地址： 日本东京都
- 代理机构： 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理人： 苗堃; 金世煜
- 优先权： 2009-002189 2009.01.08 JP; 2009-195856 2009.08.26 JP
- 国际申请： PCT/JP2010/050118 2010.01.07
- 国际公布： WO2010/079814 JA 2010.07.15
- 进入国家日期： 2011-07-07
- 主分类号： C30B9/06
- IPC分类号： C30B9/06 ; B01J3/00 ; C30B7/10 ; C30B7/14
摘要：
本发明涉及氮化物结晶的制造方法、氮化物结晶及其制造装置。利用氨热法使氧浓度低的高纯度氮化物结晶高效地生长。一种氮化物结晶的制造方法，其特征在于，在反应容器内或者与反应容器连接的封闭回路内，使和氨反应生成矿化剂的反应性气体与氨接触生成矿化剂，在上述氨和上述矿化剂的存在下利用氨热法使氮化物结晶生长。