基本信息:
- 专利标题： 包含稠合芳族环的抗反射涂料组合物
- 专利标题（英）：An antireflective coating composition comprising fused aromatic rings
- 申请号：CN200980141908.1 申请日：2009-03-30
- 公开(公告)号：CN102197100A 公开(公告)日：2011-09-21
- 发明人： M·D·拉曼 , D·麦肯齐 , C·安亚戴格伍
- 申请人： AZ电子材料美国公司
- 申请人地址： 美国新泽西
- 专利权人： AZ电子材料美国公司
- 当前专利权人： AZ电子材料美国公司
- 当前专利权人地址： 美国新泽西
- 代理机构： 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理人： 宓霞
- 优先权： 12/270,256 2008.11.13 US
- 国际申请： PCT/IB2009/005185 2009.03.30
- 国际公布： WO2010/055373 EN 2010.05.20
- 进入国家日期： 2011-04-22
- 主分类号： C09D165/00
- IPC分类号： C09D165/00 ; G03F7/09 ; H01L21/027 ; C08L61/16 ; C09D161/16
The present invention relates to an organic spin coatable anti reflective coating composition comprising a polymer where the polymer comprises (i) at least one unit with fused aromatic rings in the backbone of the polymer of structure (1), (ii) at least one unit with of structure (2), and, (iii) at least one unit with a cyclic aliphatic moiety in the backbone of the polymer of structure (3).(Formula I, II, III) (I) (II) (III) where, Fri is a substituted or unsubstituted fused aromatic ring moiety with 3 or more aromatic rings, R' and R'' are independently selected from hydrogen, CrC4 alkyl, Z, CrC4alkyleneZ and where Z is substituted or unsubstituted aromatic moiety, Ri is selected from hydrogen or aromatic moiety, and B is a substituted or unsubstituted cycloaliphatic moiety. The invention further relates to a process for imaging the present composition.