基本信息:
- 专利标题： 薄膜太阳能电池制造装置
- 专利标题（英）：Apparatus for manufacturing thin film solar cell
- 申请号：CN200980112754.3 申请日：2009-06-05
- 公开(公告)号：CN102017169A 公开(公告)日：2011-04-13
- 发明人： 清水康男 , 小形英之 , 松本浩一 , 野口恭史 , 神保洋介 , 冈山智彦 , 森冈和 , 杉山哲康 , 重田贵司 , 栗原広行 , 桥本征典 , 若松贞次
- 申请人： 株式会社爱发科
- 申请人地址： 日本神奈川县
- 专利权人： 株式会社爱发科
- 当前专利权人： 株式会社爱发科
- 当前专利权人地址： 日本神奈川县
- 代理机构： 北京德琦知识产权代理有限公司
- 代理人： 齐葵; 王诚华
- 优先权： 2008-149937 2008.06.06 JP
- 国际申请： PCT/JP2009/060356 2009.06.05
- 国际公布： WO2009/148155 JA 2009.12.10
- 进入国家日期： 2010-10-11
- 主分类号： H01L31/04
- IPC分类号： H01L31/04 ; C23C16/505 ; H01L21/205
摘要：
一种薄膜太阳能电池制造装置包括：成膜空间(81)，以基板(W)的成膜面与重力方向大致平行的方式配置所述基板(W)，并通过CVD法将希望的膜形成在所述成膜面上；阴极单元(68、118、128)，具有施加有电压的阴极(75)和两个以上的供电点(88)，所述阴极(75)配置在两侧；以及阳极(67)，与配置在所述阴极单元(68、118、128)的两侧的所述阴极(75)隔开并对置地配置。
摘要（英）：
An apparatus for manufacturing a thin film solar cell includes a film-forming space (81) wherein a substrate (W) is arranged such that a film-forming surface of the substrate (W) and the gravity direction are substantially parallel to each other, and a desired film is formed on the film-forming surface by a CVD method; cathode units (68, 118, 128) having cathodes (75), which permit a voltage to be applied thereto and are arranged on the both sides of the cathode units, and two or more power-feeding points (88); and anodes (67) arranged to face the cathodes (75) arranged on the both sides of the cathode units (68, 118, 128) with spaces between the anodes and the cathodes.
公开/授权文献:
- CN102017169B 薄膜太阳能电池制造装置 公开/授权日：2013-12-25