基本信息:
- 专利标题： 用于相对离子束移除污染粒子的系统及方法
- 专利标题（英）：System and method for removing contaminant particles relative to ion beam
- 申请号：CN01818500.2 申请日：2001-08-17
- 公开(公告)号：CN100375218C 公开(公告)日：2008-03-12
- 发明人： V·M·本维尼斯特 , M·A·格拉夫 , E·R·哈林顿 , R·D·拉斯梅尔
- 申请人： 艾克塞利斯技术公司
- 申请人地址： 美国马萨诸塞州
- 专利权人： 艾克塞利斯技术公司
- 当前专利权人： 艾克塞利斯技术公司
- 当前专利权人地址： 美国马萨诸塞州
- 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理人： 崔幼平
- 优先权： 09/654,379 2000.09.01 US
- 国际申请： PCT/GB2001/003709 2001.08.17
- 国际公布： WO2002/019376 EN 2002.03.07
- 进入国家日期： 2003-05-06
- 主分类号： H01J37/317
- IPC分类号： H01J37/317 ; H01J37/02 ; H01J37/30
摘要：
一种用于禁止污染粒子与离子束(16)一起传输的系统包括一个粒子充电系统(12)，用于在离子束通过的区域中对粒子充电。在充电区域的下游处产生一个电场(50)以便促使带电粒子离开离子束(16)的行进方向(18)。
公开/授权文献:
- CN1473349A 用于相对离子束移除污染粒子的系统及方法 公开/授权日：2004-02-04
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01J | 放电管或放电灯 |
| ------H01J37/00 | 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,如为了对其检验或加工的 |
| --------H01J37/02 | .零部件 |
| ----------H01J37/317 | ..用于改变物体的特性或在其上加上薄层的，如离子注入 |