基本信息:
- 专利标题： Double pass double etalon spectrometer
- 申请号：AU3499001 申请日：2001-02-08
- 公开(公告)号：AU3499001A 公开(公告)日：2001-09-03
- 发明人： SMITH SCOTT T , ERSHOV ALEXANDER I , BUCK JESSE D
- 申请人： CYMER INC
- 专利权人： CYMER INC
- 当前专利权人： CYMER INC
- 优先权： US51332400 2000-02-25; US73718100 2000-12-14
- 主分类号： G01B9/02
- IPC分类号： G01B9/02 ; G01J3/26 ; G01J3/36 ; G01J3/51
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01B | 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 |
| ------G01B9/00 | 组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器 |
| --------G01B9/02 | .干涉仪 |