会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 121. 发明专利
    • プラズマガス温度測定装置
    • JP2021039094A
    • 2021-03-11
    • JP2020127850
    • 2020-07-29
    • 大連理工大学DALIAN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY
    • 韓道満劉永新高飛劉子耕荊振国王友年
    • G01K11/3206
    • 【課題】プラズマガス温度測定装置を開示する。 【解決手段】真空チャンバ、光ファイバ温度センサ、石英管、サーキュレータ、分光計、広帯域光源及びコンピュータを含む。前記石英管の一端は、前記真空チャンバに挿入されている。前記光ファイバ温度センサは、前記真空チャンバのプラズマガスにあり、且つ前記石英管に固定されている。前記光ファイバ温度センサは、前記石英管を貫いた光ファイバを介して前記サーキュレータに接続されている。前記サーキュレータは、光ファイバを介してそれぞれ前記広帯域光源及び前記分光計に接続されている。前記分光計は、前記コンピュータに電気的に接続されている。前記コンピュータは、前記分光計によって収集されたスペクトルを読み取って記録するために用いられる。本発明によって提供されるプラズマガス温度測定装置は、測定された中性ガス温度を使用してVHF大面積容量結合プラズマにおける電磁効果を特徴付けることができ、且つ高速応答と正確な検出の特徴を有する。 【選択図】図1