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1. 发明申请

WO2023030472A1 探针装置、探针控制设备及方法审中-公开
公开(公告)号：WO2023030472A1
公开(公告)日：2023-03-09
申请号：PCT/CN2022/116660
申请日：2022-09-02
申请人：百及纳米科技（上海）有限公司
发明人：周向前 , 伊沃·朗格诺
IPC分类号： G01Q30/04 , G01Q70/00 , G01Q10/00
摘要：本申请实施例提供了一种探针装置、探针控制设备及方法，涉及探针控制技术领域。探针装置，包括：多个探针、编解码装置；编解码装置用于对接收到的控制处理系统发送的探针控制信号进行解码，并将解码后的探针控制信号分别发送到对应的探针；探针用于根据接收到的探针控制信号对待操作表面进行操作处理，并将得到探针数据信号发送到编解码装置；编解码装置还用于对各探针的探针数据信号进行编码，并将编码后的各探针数据信号发送到控制处理系统。本申请中，可以利用编解码装置在探针装置与控制处理系统之间采用总线进行数据信号的高速传输，使得多探针的探针装置能够进行高速运行模式，有助于提升探针装置的测量和光刻速度。

2. 发明申请

WO2022013431A1 METHOD FOR REFERENCING A NEAR-FIELD MEASUREMENT WITH DRIFT AND FLUCTUATION CORRECTION 审中-公开
公开(公告)号：WO2022013431A1
公开(公告)日：2022-01-20
申请号：PCT/EP2021/069983
申请日：2021-07-16
申请人： ATTOCUBE SYSTEMS AG
发明人： MALOVICHKO, Ivan , HUTH, Florian , GOVYADINOV, Alexander A. , DIEM, Marcus
IPC分类号： G01Q60/22 , G01Q30/04
摘要： The present invention relates to a method for referencing a near-field measurement, e.g. in a scanning probe microscope.

3. 发明申请

WO2021203194A1 SYSTEM AND METHOD FOR IMAGE SEGMENTATION FROM SPARSE PARTICLE IMPINGEMENT DATA 审中-公开
公开(公告)号：WO2021203194A1
公开(公告)日：2021-10-14
申请号：PCT/CA2021/050458
申请日：2021-04-06
申请人： TECHINSIGHTS INC.
发明人： PAWLOWICZ, Christopher , GREEN, Michael , SORKIN, Alexander , ANAND, Christopher Kumar , BASSIM, Nabil David , SARTIPI, Yasamin
IPC分类号： G01N23/225 , G01N23/04 , G01N23/203 , G01N23/2251 , G01Q30/04
摘要： Described are systems and methods for segmenting images which comprise impinging a substrate surface with a particle beam at each of a plurality of sensing locations which define a subset of locations within an area of interest of the substrate surface. An intensity value associated with post-impingement particles resulting from the impinging is measured and the measured intensity based on the intensity value of the sensing location is calculated. For each of a plurality of estimated locations which define a further subset of said area of interest and a corresponding estimated intensity based on at least one of the following corresponding to one or more locations proximal to the estimated location is calculated. The plurality of estimated locations is each segmented based on the corresponding estimated intensity, each of the sensing locations, and based on the corresponding measured intensity, to correspond to one of the plurality of features.

4. 发明申请

WO2016057303A1 FORCE DETECTION FOR MICROSCOPY BASED ON DIRECT TIP TRAJECTORY OBSERVATION 审中-公开
标题翻译：基于直接TIP TRAJECTORY观察的显微镜检测
公开(公告)号：WO2016057303A1
公开(公告)日：2016-04-14
申请号：PCT/US2015/053453
申请日：2015-10-01
申请人： THE CURATORS OF THE UNIVERSITY OF MISSOURI
发明人： KING, Gavin McLean , SIGDEL, Krishna Prasad
IPC分类号： G01Q20/02 , G01Q30/04
CPC分类号： G01Q20/02 , G01Q20/00 , G01Q30/04 , G01Q60/24 , G01Q60/34
摘要： With example embodiments described herein, a probe tip of a scanning probe microscope (such as an atomic force microscope (AFM)) is directly detected as it moves in a tapping mode to determine the tip positions over time, and a force for the tip is computed from these determined tip positions.
摘要翻译：利用本文所述的示例性实施例，当扫描探针显微镜（例如原子力显微镜（AFM））的探针尖端在攻丝模式中移动时直接检测以确定尖端位置随着时间的推移，并且尖端的力为从这些确定的尖端位置计算。

5. 发明申请

WO2015152716A1 ACTUATOR MODULE FOR ACTUATING A LOAD 审中-公开
标题翻译：用于执行负载的执行器模块
公开(公告)号：WO2015152716A1
公开(公告)日：2015-10-08
申请号：PCT/NL2015/050206
申请日：2015-03-31
申请人： NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO
发明人： WITVOET, Gerrit , VAN DEN DOOL, Teunis Cornelis , CROWCOMBE, William Edward , DE LANGE, Theodorus Jacobus , PEREBOOM, Hajo Pieter
IPC分类号： G01Q10/04 , G01Q30/04 , H01L41/053 , H02N2/02
CPC分类号： G01Q10/04 , G01Q30/04 , G06F17/11 , G06F17/5009
摘要： The disclosure concerns an actuator module (10) for actuating a load (14). The actuator module (10) comprises a deformable frame (1) and an actuator (2) connected to the deformable frame (1). A time-varying force distribution (F) couples to an excited state (V0) of an eigenmode (V) of the deformable frame (1). The force distribution (F), as well as a stiffness distribution (K) and/or mass distribution (M) of the deformable frame 1 are adapted such that static nodal points (11s) of the deformable frame 1 are coincided with mode nodal points (11m). The locations where the nodal points coincide can be used to connect the actuator module (10) to a base frame to reduce transfer of vibrations to the base frame and back which may otherwise undesirably influence the transfer function from actuator to load. The disclosure further concerns a method for designing and/or manufacturing the actuator module.
摘要翻译：本公开涉及用于致动负载（14）的致动器模块（10）。致动器模块（10）包括可变形框架（1）和连接到可变形框架（1）的致动器（2）。时变力分布（F）耦合到可变形框架（1）的本征模（V）的激发态（V0）。可变形框架1的力分布（F）以及刚度分布（K）和/或质量分布（M）适于使得可变形框架1的静态节点（11s）与模式节点（11米）。节点重合的位置可以用于将致动器模块（10）连接到基架，以减少振动传递到基架和背部，否则可能会不利地影响从致动器到负载的传递功能。本发明还涉及用于设计和/或制造致动器模块的方法。

6. 发明申请

WO2015077440A1 MULTI-ACTUATOR DESIGN AND CONTROL FOR A HIGH-SPEED/LARGE-RANGE NANOPOSITIONING SYSTEM 审中-公开
标题翻译：高速/大范围纳米系统的多执行器设计与控制
公开(公告)号：WO2015077440A1
公开(公告)日：2015-05-28
申请号：PCT/US2014/066586
申请日：2014-11-20
申请人： MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY
发明人： YOUCEF-TOUMI, Kamal , BOZCHALOOI, Iman, S. , HOUCK, Andrew, C.
IPC分类号： G01Q10/06 , G01Q30/04
CPC分类号： H02N2/06 , G01Q10/04 , G01Q10/06 , G01Q30/04 , H02N2/04
摘要： Multi-actuator system. The system includes at least two nano positioners having different ranges and bandwidths located in cascaded serial form to contact and move an object. A control system employs data-based control design to combine the at least two nano positioners so as to apportion actuation responsibilities among the at least two nano positioners so as to compensate for their coupled dynamics while moving the object. It is preferred to provide a separate controller for controlling separately each of the at least two nano positioners. Parameters of the separate controllers may be determined by minimizing output error.
摘要翻译：多执行器系统系统包括具有不同范围和带宽的至少两个纳米定位器，其位于级联串行形式中以接触和移动物体。控制系统采用基于数据的控制设计来组合至少两个纳米定位器，以便在至少两个纳米定位器之间分配致动责任，以便在移动物体时补偿它们的耦合动力学。优选地提供单独的控制器，用于分别控制至少两个纳米定位器中的每一个。可以通过最小化输出误差来确定单独控制器的参数。

7. 发明申请

WO2010089601A1 CONTROL SYSTEM FOR A SCANNING PROBE MICROSCOPE 审中-公开
标题翻译：用于扫描探针显微镜的控制系统
公开(公告)号：WO2010089601A1
公开(公告)日：2010-08-12
申请号：PCT/GB2010/050181
申请日：2010-02-04
申请人： INFINITESIMA LTD , HUMPHRIS, Andrew , CATTO, David
发明人： HUMPHRIS, Andrew , CATTO, David
IPC分类号： G01Q10/06 , G01Q30/04
CPC分类号： G01Q10/065 , G01Q30/04
摘要： A control system (32, 75) is for use with a scanning probe microscope of a type in which measurement data is collected at positions within a scan pattern described as a probe and sample are moved relative to each other. The control system is used in conjunction with a position detection system (34) that measures the position of at least one of the probe and sample such that their relative spatial location (x, y) is determined. Measurement data may then be correlated with empirically-determined spatial locations in constructing an image. The use of empirical location data means that image quality is not limited by the ability of a microscope scanning system to control mechanically the relative location of probe and sample.
摘要翻译：控制系统（32,75）用于扫描探针显微镜，其中测量数据在被描述为探针和样品相对于彼此移动的扫描图案内的位置被收集。控制系统与位置检测系统（34）一起使用，该位置检测系统（34）测量探针和样本中的至少一个的位置，使得它们的相对空间位置（x，y）被确定。然后，测量数据可以在构建图像时与经验确定的空间位置相关联。使用经验位置数据意味着图像质量不受显微镜扫描系统机械控制探针和样品的相对位置的能力的限制。

8. 发明申请

WO2010087114A1 走査型プローブ顕微鏡审中-公开
标题翻译：扫描探针显微镜
公开(公告)号：WO2010087114A1
公开(公告)日：2010-08-05
申请号：PCT/JP2010/000164
申请日：2010-01-14
申请人：国立大学法人金沢大学 , 福間剛士 , 植田泰仁
发明人：福間剛士 , 植田泰仁
IPC分类号： G01Q60/32 , G01Q30/04
CPC分类号： G01Q10/065
摘要：　原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）（１）はＳＰＭの一種であり、探針－試料間の相互作用量として共振周波数シフトを検出する。ＡＦＭ（１）は、相互作用量を一定に保つように探針－試料距離のフィードバック制御を行いながら、距離変調制御を行う。距離変調制御は、探針－試料距離を、フィードバック制御の応答速度より速い距離変調周波数にて変動させる。更にＡＦＭ（１）は、探針と試料の相対的な走査を行いながら距離変調制御により探針－試料距離が変動する間に検出される相互作用量を取得し、走査範囲内の広さと探針－試料距離の変動範囲内の厚みを有する３次元空間における相互作用量の分布を検出する。これにより、安定した探針位置制御を行いながら、３次元空間における探針試料間の相互作用の分布を好適に計測できる走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）が提供される。
摘要翻译：原子力显微镜（AFM）（1）是一种SPM，并且可以将谐振频率偏移检测为探针与样本之间的相互作用量。 AFM（1）执行距离调制控制，同时对探头和样本之间的距离进行反馈控制，以保持恒定的相互作用量。距离调制控制以高于反馈控制的响应速度的距离调制频率来改变探头与样本之间的距离。 AFM（1）通过距离调制控制获得在探头与样本之间的距离变化期间检测到的相互作用量，同时执行探针和样本的相对扫描并检测相互作用量的分布在具有扫描范围内的区域的三维空间中，并且在探针和样本之间的距离的变化范围内的厚度。因此，扫描探针显微镜（SPM）可以在三维空间中适当地测量探针和样本之间的相互作用的分布，同时对探针位置进行稳定的控制。

9. 发明申请

WO2009036365A9 METHOD AND APPARATUS OF AUTOMATIC SCANNING PROBE IMAGING 审中-公开
标题翻译：自动扫描探测成像的方法与装置
公开(公告)号：WO2009036365A9
公开(公告)日：2009-04-30
申请号：PCT/US2008076284
申请日：2008-09-12
申请人： VEECO INSTR INC , SU CHANMIN , BELIKOV SERGEY
发明人： SU CHANMIN , BELIKOV SERGEY
IPC分类号： G01Q30/04 , G01Q60/00 , G01Q60/24 , G01Q70/00 , H01J37/26
CPC分类号： G01Q30/04 , G01Q10/06 , Y10S977/85
摘要： A method of operating a scanning probe microscope (SPM) (10) includes scanning (36) a sample (22) as a probe (14) of the SPM (10) interacts with a sample (22), and collecting sample surface data in response to the scanning step (36). The method identifies (38) a feature of the sample (22) from the sample surface data and automatically performs a zoom-in scan (42) of the feature based on the identifying step (38). The method operates to quickly identify and confirm the location of features of interest, such as nano-asperities, so as to facilitate performing a directed high resolution image of the feature.
摘要翻译：操作扫描探针显微镜（SPM）（10）的方法包括扫描（36）作为SPM（10）的探针（14）的样品（22）与样品（22）相互作用，并将样品表面数据收集在响应扫描步骤（36）。该方法从样品表面数据识别（38）样品（22）的特征，并且基于识别步骤（38）自动执行特征的放大扫描（42）。该方法用于快速识别和确认感兴趣的特征的位置，例如纳米凹凸，以便于执行特征的定向高分辨率图像。

10. 发明申请

WO2008060624A2 APPARATUS AND METHOD FOR SCANNING CAPACITANCE MICROSCOPY AND SPECTROSCOPY 审中-公开
标题翻译：用于扫描电容显微镜和光谱的装置和方法
公开(公告)号：WO2008060624A2
公开(公告)日：2008-05-22
申请号：PCT/US2007024091
申请日：2007-11-15
申请人： ASYLUM RESEARCH CORP
IPC分类号： H01J37/02 , G01Q30/04 , G01Q40/00 , G01Q60/46 , G01Q60/48
CPC分类号： G01Q60/48 , G01Q30/04 , G01Q40/00 , Y10S977/866
摘要： An apparatus and technique for measuring the electrical capacitance between a conducting tip of a scanning probe microscope and a sample surface is described. A high frequency digital vector network analyzer is connected to the probe tip of the cantilever of an atomic force microscope, and data collection is coordinated by a digital computer using digital trigger signals between the AFM controller and the vector network analyzer. Methods for imaging tip-sample capacitance and spectroscopic measurements at a single point on the sample are described. A method for system calibration is described.
摘要翻译：描述了用于测量扫描探针显微镜的导电尖端和样品表面之间的电容的装置和技术。将高频数字矢量网络分析仪连接到原子力显微镜的悬臂的探针尖端，并且通过数字计算机使用AFM控制器和矢量网络分析仪之间的数字触发信号来协调数据收集。描述了样品尖端 - 样品电容和光谱测量在单一点上的成像方法。描述了用于系统校准的方法。

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