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    • 3. 发明申请
    • 자발 확산 효과를 이용한 초고속 유/무기 박막 제조방법
    • 通过使用自发扩散效应制备有机/有机薄膜的超快速方法
    • WO2017010674A1
    • 2017-01-19
    • PCT/KR2016/005336
    • 2016-05-19
    • 한국과학기술원
    • 이정용정선주노종현
    • H01L51/42H01L21/47H01L21/471H01L31/0256
    • H01L21/47H01L21/471H01L31/0256H01L51/42Y02E10/549
    • 본 발명에 따른 자발 확산 효과를 이용한 초고속 유/무기 박막 제조방법은 하나 이상의 유/무기 물질을 용매에 녹여 용액을 형성하는 단계; 상기 형성된 용액을 액상 기판 상에 공급하여 유/무기 박막을 형성하는 단계; 및 상기 형성된 박막을 기판으로 전사하는 단계;를 포함하고, 상기 유/무기 박막 형성 단계는, 상기 액상 기판과 상기 용액 간의 표면 장력 차이에 의한 자발 확산 현상이 이루어지고, 상기 용매의 증발 및 액상 기판으로의 용매의 용해 과정이 이루어지는 것을 통해 상기 액상 기판 상에 상기 유/무기 물질이 박막을 이루는 것을 특징으로 한다. 본 발명은 액상 기판과 용액의 표면 장력을 이용하여 액상 기판에서 박막을 형성하는 방법에 대한 것으로서 유/무기 전자소자를 구현하게 한다.
    • 根据本发明,通过使用自扩散效应制备有机/无机薄膜的超快速方法包括以下步骤:通过将一种或多种有机/无机材料溶解在溶剂中形成溶液; 通过将形成的溶液供给到液体基材上形成有机/无机薄膜; 并将形成的薄膜转移到基板上,其中形成有机/无机薄膜的步骤通过由表面差引起的自扩散现象从有机/无机材料在液体基板上形成薄膜 液体基质和溶液之间的张力,以及溶剂的蒸发和溶剂溶解于液体基质的溶解过程的发生。 本发明涉及通过使用液体基板和溶液之间的表面张力在液体基板上形成薄膜的方法,并且允许实现有机/无机电子器件。
    • 6. 发明申请
    • REPAIR AND RESTORATION OF DAMAGED DIELECTRIC MATERIALS AND FILMS
    • 损坏的电介质材料和膜的修复和恢复
    • WO2004068555A3
    • 2005-02-03
    • PCT/US2004002252
    • 2004-01-26
    • HONEYWELL INT INCFAN WENYALU VICTORTHOMAS MICHAELDANIELS BRIANNGUYEN TIFFANYZHOU DE-LINGNAMAN ANANTHJIN LEIBHANAP ANIL
    • FAN WENYALU VICTORTHOMAS MICHAELDANIELS BRIANNGUYEN TIFFANYZHOU DE-LINGNAMAN ANANTHJIN LEIBHANAP ANIL
    • H01L21/312H01L21/47H01L21/76
    • H01L21/31058H01L21/3105H01L21/76801H01L2924/0002H01L2924/00
    • Methods of repairing voids in a material are described herein that include: a) providing a material having a plurality of reactive silanol groups; b) providing at least one reactive surface modification agent; and c) chemically capping at least some of the plurality of reactive silanol groups with the at least one of the reactive surface modification agents. Methods of carbon restoration in a material are also described that include: a) providing a carbon-deficient material having a plurality of reactive silanol groups; b) providing at least one reactive surface modification agent; and c)chemically capping at least some of the plurality of reactive silanol groups with the at least one of the reactive surface modification agents. In addition, methods are described herein for reducing the condensation of a film and/or a carbon-deficient film that include: a) providing a film having a plurality of reactive silanol groups; b) placing the film into a plasma chamber; c) introducing a plurality of reactive organic moieties-containing silanes into the chamber; and d) allowing the silanes to react with at least some of the reactive silanol groups. Dielectric materials and low-k dielectric materials are described herein that comprise: a) an inorganic material having a plurality of silicon atoms; and b) a plurality of organic moiety-containing silane compounds, wherein the silane compounds are coupled to the inorganic material through at least some of the silicon atoms.
    • 本文描述了修复材料中空隙的方法,其包括:a)提供具有多个反应性硅烷醇基团的材料; b)提供至少一种反应性表面改性剂; 和c)使所述多个反应性硅烷醇基团中的至少一些与至少一种反应性表面改性剂化学封端。 还描述了材料中碳修复的方法,其包括:a)提供具有多个反应性硅烷醇基团的缺碳材料; b)提供至少一种反应性表面改性剂; 和c)使所述多个反应性硅烷醇基团中的至少一些与至少一种反应性表面改性剂化学封端。 此外,本文描述了用于减少膜和/或缺碳膜的冷凝的方法,其包括:a)提供具有多个反应性硅烷醇基团的膜; b)将膜放入等离子体室中; c)将多个含反应性有机部分的硅烷引入所述室中; 和d)允许硅烷与至少一些反应性硅烷醇基团反应。 介质材料和低k介电材料在本文中描述,其包括:a)具有多个硅原子的无机材料; 和b)多个含有机部分的硅烷化合物,其中硅烷化合物通过至少一些硅原子与无机材料偶联。