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    • 6. 发明申请
    • 被覆部材およびその製造方法
    • 涂覆部件及其制造方法
    • WO2013111744A1
    • 2013-08-01
    • PCT/JP2013/051184
    • 2013-01-22
    • 株式会社豊田中央研究所
    • 太刀川 英男鈴木 憲一北原 学五十嵐 新太郎八木 祐介関 純太郎
    • C23C8/36C22C19/00C23C28/00
    • C22C19/00C23C8/02C23C8/36
    •  従来なかった新規なNi系被膜を有する被覆部材を提供する。本発明の被覆部材は、基材と、この基材の表面に被着され、少なくともNを含むニッケル合金からなる多孔質層を有するニッケル系被膜と、からなることを特徴とする。この被覆部材は、基材の表面にNiを含むNi系めっき層を形成するめっき工程と、Ni系めっき層にプラズマを供給するプラズマ工程とを経て得られる。Ni系被膜を構成する多孔質層は、数十~数百nm程度の微細な空孔を多数有するため、潤滑油の保持性に優れる。その結果、その表面において高い摺動性を発揮する。また、多孔質層による投錨効果により、Ni系被膜上にも高密着性のDLC膜等を形成し得る。なお、プラズマ工程により、多孔質層が形成されるのみならず、基材まで窒化され得る。
    • 提供具有新型非常规Ni基涂层的涂层构件。 本发明的被覆构件的特征在于,由基材和镍基涂膜构成,所述基材和镍基涂膜粘附到基材的表面,并且具有由至少含有N的镍合金形成的多孔层。 通过电镀步骤获得涂覆部件,其中在基底的表面上形成含有Ni的Ni基镀层和其中将等离子体供应到Ni基镀层的等离子体步骤。 由于构成Ni系涂膜的多孔层具有多个尺寸为数十〜数百nm的细孔,所以Ni系涂膜具有优异的润滑剂保持性。 结果,Ni系涂膜在表面具有优异的滑动性。 此外,由于多孔层的锚固效果,可以在Ni基涂膜上形成高粘合性DLC膜等。 此外,不仅形成多孔层,而且可以通过等离子体步骤对基底进行氮化。
    • 10. 发明申请
    • 成膜装置及び成膜方法
    • 膜沉积装置和膜沉积方法
    • WO2009125803A1
    • 2009-10-15
    • PCT/JP2009/057228
    • 2009-04-08
    • 株式会社 アルバック山本 治彦国分 健二郎
    • 山本 治彦国分 健二郎
    • C23C28/00C23C8/36C23C16/06
    • G02B1/10B05D1/002B05D1/60B05D3/108B05D5/083C23C8/36C23C14/0078C23C14/568C23C14/5853C23C28/00C23C28/04G02B1/105G02B1/18
    •  酸化物膜上に形成する撥液膜の機械的耐性を向上させた成膜装置(10)。成膜装置(10)は、真空槽(11)内で回転される基板に向けて粒子を放出することにより前記基板上に被酸化物膜を形成し、前記被酸化物膜に向けて酸素プラズマを照射することにより前記基板上に酸化物膜を形成する酸化物膜形成部(14,15,16)と、加水分解性の重縮合基と撥液基とを有するシランカップリング剤を前記酸化物膜上に蒸着する蒸着部(17)と、前記回転される基板上の前記酸化物膜に向けて水を供給することにより前記シランカップリング剤を重縮合させる重縮合部(20)とを備える。前記重縮合部は、前記蒸着部が酸化物膜上にシランカップリング剤を蒸着する前に、酸化物膜上に水を供給する。
    • 可以在氧化膜上形成具有改善的机械阻力的疏液膜的成膜装置(10)。 成膜装置(10)配备有:向真空容器(11)内旋转的基板发射粒子的氧化膜形成部(14,15,16),从而在基板上形成可氧化物质的膜 并将氧等离子体喷射到可氧化物质膜上,从而在基板上形成氧化膜; 将具有可水解缩合反应性基团和拒液基团的硅烷偶联剂气相沉积在氧化物膜上的蒸镀部分(17) 和向被旋转的基板上形成的氧化膜供水的缩聚部(20),由此将硅烷偶联剂进行缩聚。 在气相沉积部分将硅烷偶联剂沉积在氧化物膜上之前,缩聚部分将水供应到氧化膜​​的表面。