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    • 3. 发明申请
    • 超小型質量分析装置および超小型粒子加速装置
    • 超紧凑质量分析装置和超紧凑粒子加速装置
    • WO2016017712A1
    • 2016-02-04
    • PCT/JP2015/071538
    • 2015-07-29
    • 保坂 俊
    • 保坂 俊
    • H01J49/06G01N27/62H01J49/26H05H5/03H05H7/04H05H7/22H05H9/00H05H13/04
    • H01J49/06G01N27/62H01J49/0018H01J49/20H01J49/22H01J49/326H01J49/38H01J49/4205H01J49/4215H05H5/03H05H7/04H05H7/22H05H9/00H05H13/04
    •  加速器や質量分析装置を小型化し安価に作製し、誰もが利用できるようにする。第1主基板(301)、第1主基板(301)の上面に付着した第1上部基板(302)、および第1主基板(301)の下面に付着した第1下部基板(303)を含む複数の基板から構成される質量分析装置(300)であり、質量分析室(308)は、第1主基板(301)に形成された、第1主基板(301)の上面から第1主基板(301)の下面へ貫通する貫通室であり、基板面に垂直方向(Z方向)が上部基板(302)および下部基板(303)に、Z方向と直角方向でありかつ荷電粒子(318)の進行方向(X方向)の両側は第1主基板側板(301-4,301-5)に、およびZ方向およびX方向に直角方向(Y方向)の両側面は第1主基板(301)に囲まれており、荷電粒子(318)の入射する第1主基板側板(301-4)は中央孔(310-4)が空いていて、荷電粒子(318)は前記第1主基板側板(301-4)に形成された中央孔(310-4)より質量分析室(308)へ入射する。
    • 本发明的目的是廉价地制造加速装置和质量分析装置,并且具有紧凑的尺寸,使其能够被任何人使用。 质量分析装置(300)由多个基板构成,包括第一主基板(301),粘附到第一主基板(301)的上表面的第一上基板(302),第一下基板 (303)粘附到第一主衬底(301)的下表面。 质量分析室(308)是形成在第一主基板(301)中并从第一主基板(301)的上表面延伸到第一主基板(301)的下表面的通道,并封入 在与Z方向正交的方向(方向X)的两侧封闭的上基板(302)和下基板(303)垂直于基板表面(Z方向)的方向为 通过第一主基板侧板(301-4,301-5)推进带电粒子(318),并且通过第一主体在与Z方向和X方向正交的方向(Y方向)的两个侧面上包围 基板(301)。 在带电粒子(318)入射的第一主基板侧板(301-4)中打开中心孔(310-4),带电粒子(318)从 形成在第一主衬底侧板(301-4)中的中心孔(310-4)。