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    • 1. 发明申请
    • 전계방출 엑스선 소스를 갖는 포터블 엑스선 발생 장치
    • 具有电场辐射X射线源的便携式X射线发生器件
    • WO2017003236A1
    • 2017-01-05
    • PCT/KR2016/007075
    • 2016-06-30
    • 주식회사바텍(주)바텍이우홀딩스
    • 신승훈전진표김태우
    • H01J35/02H05G1/26H05G1/34A61B6/14A61B6/00
    • A61B6/145A61B6/00A61B6/14A61B6/40A61B6/4405H01J35/02H01J35/025H05G1/26H05G1/34
    • 전계방출 방식의 엑스선 소스를 이용하여 경량화 및 소형화에 유리하면서도 엑스선 방출 성능의 신뢰성이 우수한 포터블 엑스선 방출 장치가 개시된다. 본 발명에 따른 포터블 엑스선 방출 장치는, 전자 방출원을 갖는 캐소드 전극, 엑스선 타겟면을 갖는 애노드 전극, 상기 캐소드 전극과 상기 애노드 전극 사이의 게이트 전극을 포함하는 전계방출 엑스선 소스; 및, 소정 전압의 직류 전원으로 상기 캐소드 전극, 애노드 전극 및 게이트 전극에 각각 인가되는 적어도 3개의 구동신호를 생성하는 구동신호 생성부를 포함한다. 상기 구동신호 생성부는 엑스선 방출 중에 상기 애노드 전극과 상기 캐소드 전극 사이의 관전류 값이 일정하게 유지되도록 하는 전류 제어부를 포함할 수 있다.
    • 公开了使用电场发射型X射线源的便携式X射线发射装置,因此有利于减轻重量和体积,并且在X射线发射性能方面具有优异的可靠性。 根据本发明的便携式X射线发射装置包括:电场发射X射线源,其包括具有电子发射源的阴极电极,具有X射线靶表面的阳极电极和位于 阴极电极和阳极电极; 以及用于通过具有预定电压的直流电源分别产生施加到阴极电极,阳极电极和栅电极的至少三个驱动信号的驱动信号产生单元。 驱动信号生成单元可以包括用于维持阳极电极和阴极电极之间的管电流的电流控制单元,以在X射线发射期间具有恒定值。
    • 2. 发明申请
    • 液面レベル検出装置、液面レベル検出方法、高温プラズマ原料供給装置及び極端紫外光光源装置
    • 液位检测装置,液位检测方法,高温等离子体源材料供应装置和极端超紫外光源装置
    • WO2016084356A1
    • 2016-06-02
    • PCT/JP2015/005796
    • 2015-11-19
    • ウシオ電機株式会社
    • 長野 晃尚新美 剛太
    • G01F23/24G01F23/22G03F7/20G21K5/00H01L21/027H05G1/00H05G1/26
    • G01F23/24G01F23/0007G01F23/241G01F23/242G03F7/20G05D9/00G21K5/00H01L21/027H05G1/00H05G1/26
    •  溶融スズ等の液体状の高温プラズマ原料を収容するリザーバーにおいて、当該高温プラズマ原料の液面レベル(収容量)を適切に検出する液面レベル検出装置が開示される。 液面レベル検出装置は、高温プラズマ原料であるスズ(Sn)の液面レベルが、下方から上昇して上限レベルLa(第一の液面レベル)に到達したことを検出する上限レベルセンサ(41)と、スズの液面レベルが、上方から下降して再充填レベルLbや下限レベルLc(第二の液面レベル)に到達したことを検出する再充填レベルセンサ(42)や下限レベルセンサ(43)と、を備える。上限レベルセンサ(41)の液面レベルの検出応答性は、再充填レベルセンサ(42)や下限レベルセンサ(43)の液面レベルの検出応答性よりも高く、再充填レベルセンサ(42)や下限レベルセンサ(43)の液面レベルの検出能は、上限レベルセンサ(41)の液面レベルの検出能よりも高い。
    • 公开了一种液位检测装置,用于在包含高温等离子体源材料的贮存器内适当地检测液态等高温等离子体源材料(例如熔融锡)的液面(含有量)。 该液面检测装置具有上限位传感器41,用于检测锡(Sn)高温等离子体源材料的液面何时从下方升高并达到上限值La(第一液面) ,以及用于检测锡的液面何时从上方掉落并达到再充填水平Lb或下限液位Lc(第二液位)的再充注液位传感器(42)和下限液位传感器(43)。 上限电平检测器(41)对液位的检测响应性高于液位检测器(42)和下限液位传感器(43)对液位的检测响应性,液位检测能力 (42)和下限液位传感器(43)的液面检测能力高于上限液位传感器(41)的液面检测能力。
    • 6. 发明申请
    • X線照射源及びX線照射装置
    • X射线辐射源和X射线辐射装置
    • WO2013129069A1
    • 2013-09-06
    • PCT/JP2013/052910
    • 2013-02-07
    • 浜松ホトニクス株式会社
    • 小杉 典正奥村 直樹仲村 竜弥藤田 澄岡田 知幸鵜嶋 秋臣
    • H05G1/26
    • H05G1/26
    •  X線照射ユニット3は、X線を発生させるX線管6と、X線管6の寿命を検知する寿命検知回路15bと、寿命検知回路15bによって寿命が検知されたことを外部に表示する表示回路15cと、を備える。寿命検知回路15bは、寿命を検知したときに表示回路に電力を供給する出力部32cを有し、表示回路15cは、出力部32cから供給された電力によって発光する寿命表示LED9と、寿命表示LED9に対して並列に接続され、出力部32cから供給された電力を受けて蓄電されるコンデンサ28と、を有する。X線照射ユニット3の電源が切られると、コンデンサ28に蓄積されていた電力によって寿命表示LED9の発光が継続するため、X線管6の寿命の報知を確実に行うことができる。
    • X射线照射单元(3)具有:X射线管(6),用于产生X射线; 用于检测X射线管(6)的工作寿命的操作寿命检测电路(15b); 以及用于从外部指示由操作寿命检测电路(15b)检测到工作寿命的显示电路(15c)。 操作寿命检测电路(15b)具有在检测到工作寿命时向显示电路供电的输出单元(32c)。 显示电路(15c)具有:由于输出单元(32c)提供的电力而发光的工作寿命指示LED(9); 以及与所述工作寿命指示LED(9)并联连接的电容器(28),并且接收并存储由所述输出部(32c)供给的电力。 当X射线照射单元(3)的电源关闭时,由于存储在电容器(28)中的电力,工作寿命指示LED(9)继续发光,从而允许X射线照射单元 射线管(6)可靠报告。