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    • 1. 发明申请
    • 集積型半導体レーザ素子
    • 集成电路型半导体激光元件
    • WO2013069483A1
    • 2013-05-16
    • PCT/JP2012/077777
    • 2012-10-26
    • 古河電気工業株式会社木本 竜也小林 剛向原 智一
    • 木本 竜也小林 剛向原 智一
    • H01S5/026H01S5/12H01S5/227H01S5/343
    • H01S5/4087B82Y20/00H01S5/026H01S5/0265H01S5/1039H01S5/12H01S5/2222H01S5/227H01S5/34306H01S5/50
    •  互いに異なる発振波長で単一モード発振する複数の分布帰還型の半導体レーザと、前記複数の半導体レーザからの出力光がそれぞれ入力される、該半導体レーザと同じ数の入力ポートを有し、該出力光を合流させて出力させることができる光合流器と、前記光合流器からの出力光を増幅する半導体光増幅器と、が集積され、前記半導体レーザの個数をN、前記各半導体レーザの共振器長および出力されるレーザ光のスペクトル線幅をそれぞれLdfb、Δν0とし、前記半導体光増幅器の増幅器長、増幅率、および出力される増幅されたレーザ光のスペクトル線幅をそれぞれLsoa、A、Δνとし、Δν/Δν0をRとすると、所定の関係式が成り立つ。
    • 集成电路型半导体激光元件以集成形式组合:半导体激光器以单一模式以相互不同的振荡波长振荡; 多个分布式反馈光耦合装置,分别输入从所述多个半导体激光器输出并且具有与这些半导体激光器相同数量的输入端口并且能够合并和输出其输出光束的光束; 以及放大来自所述光耦合器件的输出光的半导体光放大器。 如果这些半导体激光器的数量为N,则半导体激光器的振荡器长度和输出的激光束的谱线宽度分别为Ldfb,Deltanu0,半导体放大器的放大器长度和放大率以及光谱线宽度 放大输出激光束分别为Lsoa,A,Deltanu,Deltanu / Deltanu0为R,它们之间存在规定的关系。
    • 3. 发明申请
    • 半導体発光素子
    • 半导体发光器件
    • WO2008146651A1
    • 2008-12-04
    • PCT/JP2008/059195
    • 2008-05-20
    • ソニー株式会社岡野 展賢狩野 祥男鎌田 満高瀬 英治大金 誠長竹 剛成井 啓修
    • 岡野 展賢狩野 祥男鎌田 満高瀬 英治大金 誠長竹 剛成井 啓修
    • H01S5/223H01L33/00
    • H01S5/227H01S5/2222
    •  (A)第1導電型を有する第1化合物半導体層(以下、層と略称する)(21)、活性層(23)、及び、第2導電型を有する第2層(22)から構成された発光部(20)、並びに、(B)発光部の側面に接して設けられた、第1導電型を有する第3層(43)、及び、第2導電型を有する第4層(44)から構成された電流ブロック層(40)を備え、第1層(21)を第1導電型とするための不純物は、第1層(21)における不純物の置換サイトが、第2層(22)を第2導電型とするための第2層(22)における不純物の置換サイトと競合しない不純物から成り、第3層(43)を第1導電型とするための不純物は、第3層(43)における不純物の置換サイトが、第4層(44)を第2導電型とするための第4層(44)における不純物の置換サイトと競合する不純物から成る、電流ブロック層におけるリーク電流の一層の低減を図ることができる半導体発光素子を提供する。
    • 公开了一种半导体发光器件,包括:(A)由具有第一导电类型的第一化合物半导体层(21)(以下称为“化合物半导体层”被称为“层”)组成的发光单元(20) ,具有第二导电类型的有源层(23)和第二层(22),以及(B)形成为与发光单元的侧表面接触并由第三层构成的电流阻挡层(40) (43)和具有第二导电类型的第四层(44)。 使第一层(21)具有第一导电类型的杂质由这样的杂质构成,使得第一层(21)中的杂质的取代位置不与第二层(22)中的杂质的取代位置竞争 ),该杂质使得第二层(22)具有第二导电类型。 使第三层(43)具有第一导电类型的杂质由第三层(43)中的杂质的取代位置与第四层(44)中的杂质的取代位置相竞争的杂质构成, 哪个杂质使得第四层(44)具有第二导电类型。 在这种半导体发光器件中,可以进一步减小电流阻挡层中的漏电流。
    • 6. 发明申请
    • 半導体レーザとその製造方法
    • 半导体激光器及其制造方法
    • WO2005053126A1
    • 2005-06-09
    • PCT/JP2004/017576
    • 2004-11-26
    • 日本電気株式会社小林 隆二
    • 小林 隆二
    • H01S5/227
    • H01S5/227H01S5/2222H01S5/2272H01S2304/04
    • 選択MOVPE成長を用いて作製した半導体レーザにおいて、広幅部に成長した再結合層の格子緩和を抑制し、リーク電流が抑制され、信頼性の高い半導体レーザを実現することを目的とする。選択MOVPE成長を用いて半導体レーザを作製する際に、酸化シリコンマスク13の間隙となる狭幅部14にエピタキシャル成長したDHメサストライプ6の平均歪量を格子緩和が起こらない範囲で圧縮歪側にずらすことにより、広幅部15に成長した再結合層16の引張歪を低減する。
    • 通过选择性MOVPE生长制造的半导体激光器,其中抑制了在大宽度部分上生长的复合层的晶格松弛,泄漏电流被抑制,并且可靠性高。 当通过选择性MOVPE生长制造半导体层时,在作为氧化硅掩模(13)的间隔的小宽度部分(14)上外延生长DH台面条纹(6)。 DH台面条纹(6)的平均应变向压缩应变侧移动到没有引起晶格弛豫的程度。 结果,减轻了在大宽度部分(15)上生长的复合层(16)的拉伸应变。
    • 9. 发明申请
    • A CURRENT BLOCKING STRUCTURE TO IMPROVE SEMICONDUCTOR LASER PERFORMANCE
    • 提高半导体激光器性能的电流阻塞结构
    • WO2003041121A2
    • 2003-05-15
    • PCT/GB2002/004994
    • 2002-11-06
    • DENSELIGHT SEMICONDUCTORS PTE LTDFINNIE, Peter, John
    • LAM, Yee, LoyCHAN, Yuen, ChuenONG, Teik, Kooi
    • H01L
    • H01S5/227H01S5/06226H01S5/2222H01S5/2226H01S5/2277
    • The layer structure of a DC-PBH laser diode consists of an n-InP substrate (51), an n-InP buffer layer (52), an undoped-InGaAsP active layer (53), a p-Inp cladding layer (54), a p-InP current blocking layer (55), an n-InP current blocking layer (56), a p-InP cladding layer (57), and a p-InGaAsP contact layer (58). An additional layer of Fe-doped InP layer (55a) creates an acceptor level (Fe 3+ /Fe 2+ ) near mid-band gap.The iron impurities are deep level traps, and will make the capacitance C 2 less dependent of the impurity concentration of layer (56) which is normally doped with a concentration larger than 1 x 10 18 CM -3 to lower the leakage current from p-InP blocking layer (57) to p-InP blocking layer (55) that does not contribute to light emission. The capacitance C 2 and hence the overall capacitance C p-n-p-n will be reduced with this Fe doped InP layer (55a) and consequently the displacement current through the current blocking structure during high speed operation will be lowered. In addition, as this Fe-doped InP layer is also a thermally stable semi-insulating material, a high resistivity layer is thus formed between the n-InP blocking layer (56) and P-InP blocking layer (55). Thus, this Fe doped InP layer (55a) will also effectively reduce the leakage current flowing through the p-n-p-n current blocking channel as mentioned above.
    • DC-PBH激光二极管的层结构由n-InP衬底(51),n-InP缓冲层(52),未掺杂的InGaAsP有源层(53),p-Inp覆层(54) ,p-InP电流阻挡层(55),n-InP电流阻挡层(56),p-InP包覆层(57)和p-InGaAsP接触层(58)。 附加的Fe掺杂InP层(55a)在中间带隙附近产生受主电平(Fe 3+ / Fe 2+)。铁杂质是深层陷阱,并且将使电容C2更小 依赖于通常掺杂浓度大于1×10 18 CM 3的层(56)的杂质浓度以降低从p-InP阻挡层(57)到p-InP阻挡层的漏电流 (55)对发光没有贡献。 由于Fe掺杂的InP层(55a),电容C2和整体电容Cp-n-p-n将被降低,因此在高速运行期间通过电流阻挡结构的位移电流将降低。 此外,由于该Fe掺杂InP层也是热稳定的半绝缘材料,因此在n-InP阻挡层(56)和P-InP阻挡层(55)之间形成高电阻率层。 因此,如上所述,该Fe掺杂InP层(55a)还将有效地减少流过p-n-p-n电流阻塞通道的漏电流。
    • 10. 发明申请
    • LASERDIODE
    • 激光二极管
    • WO2016150838A1
    • 2016-09-29
    • PCT/EP2016/055928
    • 2016-03-18
    • OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH
    • LELL, AlfredKOENIG, HaraldAVRAMESCU, Adrian Stefan
    • H01S5/223H01S5/20H01S5/22H01S5/32
    • H01S5/026H01S5/0217H01S5/2009H01S5/22H01S5/2222H01S5/2234H01S5/2235H01S5/2237H01S5/32H01S5/3211
    • Die Erfindung betrifft eine Laserdiode (1) mit einer Schichtanordnung mit aufeinander angeordneten Schichten, wobei die Schichtanordnung eine erste, eine zweite und eine dritte Schichtstruktur (15, 26, 27) mit wenigstens einer aktiven Zone (18) und zwei Wellenleiterschichten (16, 17) umfasst, wobei die aktive Zone (18) zwischen den zwei Wellenleiterschichten (16, 17) angeordnet ist, mit einer ersten Schichtstruktur (15), wobei sich die erste Schichtstruktur entlang einer Z-Achse in einer Längsrichtung, entlang einer X-Achse in einer Querrichtung und entlang einer Y-Achse in einer Höhenrichtung erstreckt, mit einer zweiten und einer dritten Schichtstruktur (26, 27), die entlang der Z-Achse an gegenüberliegenden Längsseiten der ersten Schichtstruktur angeordnet sind, und an die erste Schichtstruktur (15) angrenzen, wobei die aktive Zone der ersten Schichtstruktur (15) in der Höhe versetzt gegenüber den aktiven Zonen (18) der zweiten und der dritten Schichtstruktur (26, 27) angeordnet ist. Die aktive Zone (18) ist zwischen einem p-Kontakt (28) und einem n-Kontakt (56) angeordnet, wobei seitlich der ersten Schichtstruktur (15) eine Zwischenschicht (7) in der zweiten und der dritten Schichtstruktur (26, 27) angeordnet ist, wobei die Zwischenschicht (7) als elektrisch sperrende Schicht ausgebildet ist, die einen Stromfluss erschwert oder unterbindet, und wobei die Zwischenschicht (7) zwischen der aktiven Zone (18) und dem n-Kontakt (56) angeordnet ist. Zudem betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung der Laserdiode.
    • 本发明涉及一种激光二极管(1)布置成彼此层的层结构,该层结构包括第一,第二和具有至少一个有源区(18)和两个波导层(16,17的第三层结构(15,26,27) ),其特征在于,所述两个波导层之间的有源区(18)(16,17)设置(与第一层结构15),其中,沿Z轴在纵向方向沿着X轴在第一层结构 在高度方向的横向方向和沿Y轴延伸,第二和第三层结构(26,27),其沿着在第一层结构的相对的纵向侧上的Z轴布置,并且与第一层结构(15)相邻的 其中,在高度偏移相对于所述第二和第三层结构(26,27)angeordn的有源区(18),第一层结构(15)的有源区 是等。 有源区(18)被布置在p型接触(28)和n接触(56)之间,其中第一层结构的侧(15)在所述第二和第三层结构的中间层(7)(26,27) 被布置,其中,所述中间层(7)被设计为电阻挡层,其阻碍了电流或防止流动,并且其中所述有源区(18)和n型接触(56)之间的中间层(7)布置。 此外,本发明涉及一种方法,用于制造激光二极管。