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    • 3. 发明申请
    • 半導体装置
    • 半导体器件
    • WO2016052203A1
    • 2016-04-07
    • PCT/JP2015/076318
    • 2015-09-16
    • 三菱電機株式会社
    • 菅原 勝俊香川 泰宏田中 梨菜福井 裕
    • H01L29/78H01L29/12
    • H01L27/0296H01L21/046H01L21/0475H01L27/0288H01L29/0623H01L29/0696H01L29/1087H01L29/1608H01L29/41766H01L29/7397H01L29/7802H01L29/7813
    •  第1導電型のドリフト層(2a)上に形成された第2導電型のベース領域(3)と、ベース領域(3)内に位置する第1導電型のソース領域(4)と、ベース領域(3)とソース領域(4)とを貫通し、平面視においてセル領域(14)を区分けするトレンチ(5)と、トレンチ(5)の底部に配設された第2導電型の保護拡散層(7)と、トレンチ(5)内にゲート絶縁膜(6)を介して埋め込まれたゲート電極(8)と、ソース領域(4)と電気的に接続されるソース電極(10)と、3個以上のセル領域(14)の位置に配設され、保護拡散層(7)とソース電極(10)と、を接続する保護コンタクト領域(15)と、を備え、保護コンタクト領域(15)は、最も近い距離にある3つの保護コンタクト領域(15)の中心を頂点とする三角形(18)が、鋭角三角形となるように配設されたこと、を特徴とする。
    • 该半导体器件的特征在于具有形成在第一导电型漂移层(2a)上的第二导电型基极区(3)。 位于基部区域(3)内部的第一导电型源极区域(4); 穿过基部区域(3)和源极区域(4)的沟槽(5)以及在平面图中彼此分隔开细胞区域(14)的沟槽(5) 设置在所述沟槽(5)的底部的第二导电型保护扩散层(7)。 通过栅极绝缘膜(6)嵌入沟槽(5)中的栅电极(8); 与源极区域(4)电连接的源电极(10)。 和保护接触区域(15),其设置在三个以上单元区域(14)的位置,并将保护扩散层(7)和源电极(10)彼此连接。 半导体器件的特征还在于,保护接触区域(15)被布置成使得以三角形(18)形成尖锐的三角形(18),其中三个保护接触区域(15)的中心彼此以最短的距离形成锐角 。