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热词
    • 1. 发明申请
    • BETRIEBSVERFAHREN FÜR EINEN ULTRASCHALLDRAHTBONDER MIT AKTIVER UND PASSIVER SCHWINGUNGSDÄMPFUNG
    • 具有主动和被动振动阻尼的超声波线路粘合剂的操作方法
    • WO2017092730A1
    • 2017-06-08
    • PCT/DE2016/100546
    • 2016-11-24
    • HESSE GMBH
    • HUNSTIG, MatthiasBRÖKELMANN, Michael
    • B23K20/00B23K20/10H01L23/00H01R43/02
    • B23K20/004B23K20/10H01L24/78H01L24/85H01L2224/75349H01L2224/75901H01L2224/85205H01L2224/859H01L2924/00014H01L2224/45099
    • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betreiben eines Ultraschalldrahtbonders, wobei der Ultraschalldrahtbonder einen Bondkopf mit einem Bondwerkzeug und einem Transducer zum Anregen von Ultraschallschwingungen in dem Bondwerkzeug sowie eine Steuerung (2) für den Transducer (1) aufweist, umfassend eine erste Prozessphase I, in der ein Bonddraht an ein Substrat gebondet wird, indem der Bonddraht mittels einer Werkzeugspitze des Bondwerkzeugs mit einer Bondkraft gegen das Substrat gedrückt wird und dann zum Herstellen einer stoffschlüssigen Verbindung zwischen dem Bonddraht und dem Substrat das Bondwerkzeug zu Ultraschallschwingungen angeregt wird, indem der Transducer (1) für eine vorbestimmte oder variable Bondzeit zu Schwingungen angeregt wird, wobei in einer anschließenden zweiten Prozessphase II die Ansteuerung des Transducers (1) geändert und einem Nachschwingen des Bondwerkzeugs entgegengewirkt wird, indem der Transducer (1) bedämpft betrieben wird.
    • 本发明涉及一种方法,用于操作Ultraschalldrahtbonders,其中,所述超声波导线键合机的键合头与所述换能器的焊接工具和用于在键合工具激动人心超声波振动的换能器和控制器(2)F导航使用R(1) 包括包含第一过程阶段I,其中键合线通过接合工具对gedr导航用途是CKT,然后用于制造键合线和之间的stoffschl导航用途拉尔连接基板的结合力的工具尖端的手段接合到由接合线的基板 衬底,所述接合工具由换能器(1)F导航使用r,以指定的或可变的接合时间被激发而振动,其特征在于,在随后的ROAD形成第二处理阶段II中,换能器的控制(1)GE BEAR改变和的振铃激发到超声波振动 粘接工具被换能器抵消(1)床& 被操作。

    • 9. 发明申请
    • ボンディング装置およびボンディング装置による半導体ダイの破損検出方法
    • 接合装置和用于通过接合装置检测半导体器件中的断路的方法
    • WO2014115359A1
    • 2014-07-31
    • PCT/JP2013/072091
    • 2013-08-19
    • 株式会社新川
    • 豊川 雄也
    • H01L21/52H01L21/60
    • H01L24/83H01L22/12H01L24/75H01L2224/75745H01L2224/75901H01L2224/83908
    •  ダイボンダ(100)において、半導体ダイ(40)を吸着するコレット(20)の吸着面画像とコレット(20)に吸着された半導体ダイ(40)の画像とを含む全体画像を撮像する裏面カメラ(30)と、裏面カメラ(30)によって取得した各画像を処理する画像処理部(80)と、を備え、画像処理部(80)は、コレット(20)の吸着面画像と半導体ダイ(40)の画像との明度差と、半導体ダイ(40)の基準画像とに基づいて全体画像中の半導体ダイ(40)の画像領域を画定する画像領域画定手段と、画像領域画定手段によって画定した半導体ダイの画像領域内を走査し、走査方向の明度の変化割合が所定の閾値以上であった場合に、半導体ダイの破損であると判断する破損検出手段と、を有する。これにより、破損した半導体ダイがボンディングされることを効果的に抑制し、ダイボンダ(100)により製造する半導体装置の品質を向上させる。
    • 芯片接合(100)设置有:后表面照相机(30),用于获得包括用于保持半导体管芯(40)的夹头(20)的保持表面的图像的完整图像,并且还包括 由夹头(20)保持的半导体管芯(40)的图像; 以及用于处理由所述背面照相机(30)获得的图像的图像处理器(80)。 图像处理器(80)具有:图像区域定义装置,用于基于半导体管芯(40)的标准图像来定义完整图像中的半导体管芯(40)的图像区域,以及 夹头(20)的保持表面的图像和半导体管芯(40)的图像; 以及破坏检测装置,用于扫描由图像区域确定装置限定的半导体管芯的图像区域的限制,并且当扫描方向上的亮度变化率为 或高于给定阈值。 由此,能够有效地抑制破损的半导体管芯的接合,提高通过管芯接合(100)制造的半导体器件的质量。