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1. 发明申请

WO2009118887A1 磁気センサー及び走査型顕微鏡审中-公开
标题翻译：磁传感器和扫描显微镜
公开(公告)号：WO2009118887A1
公开(公告)日：2009-10-01
申请号：PCT/JP2008/056058
申请日：2008-03-28
申请人：株式会社フォスメガ , サンドゥーアダルシュ
发明人：サンドゥーアダルシュ
IPC分类号： G01N13/22
CPC分类号： G01R33/12 , G01Q60/54
摘要：　導電性材ばかりではなく非導電性材料に対する広い温度範囲での磁気測定を極めて簡便な構成で実現でき、高性能かつ信頼性に優れる磁気センサー及びそれを用いた走査型顕微鏡を提供することを目的とする。本発明による走査型顕微鏡は、片持ち梁状の可撓性部材の自由端部に磁気検知素子が設けられ、かつ、その可撓性部材上に歪みゲージが被着された磁気センサーと、可撓性部材又は測定試料を駆動する駆動手段と、歪みゲージからの出力信号に基づいて駆動手段の駆動を制御する制御手段を備える。
摘要翻译：一种磁传感器，其在显示高性能和增强的可靠性的同时，在非常简单的结构中允许在宽的温度范围内对导电材料进行磁性测量，而且还可以测量非导电材料，以及使用这种磁性传感器的扫描显微镜。扫描显微镜包括安装在悬臂柔性构件的自由端部分的磁性检测器元件，安装在柔性构件上的应变仪的磁性传感器，驱动柔性构件的驱动装置和待测量的样品，以及控制装置，用于根据来自应变计的输出信号来控制驱动装置的驱动。

2. 发明申请

WO0073821A9 SYSTEM AND METHOD OF MULTI-MODE CANTILEVER AND MULTI-MODE TORSIONAL MICRO-OSCILLATORS FOR FORCE MICROSCOPY 审中-公开
标题翻译：多模式CAN VER Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y
公开(公告)号：WO0073821A9
公开(公告)日：2002-07-04
申请号：PCT/US0014774
申请日：2000-05-26
申请人： XIDEX CORP
发明人： MARKERT JOHN T
IPC分类号： G01R33/038 , G01V3/00
CPC分类号： G01Q60/54 , G01R33/0385
摘要： The present invention provides a multi-mode torsional oscillator for use in a force sensing microscopy tool, In one embodiment of the present invention a sample is mounted on a multi-mode torsional oscillator. A magnetic field generator polarizes the sample and couples a moment of the sample to the multi-mode torsional oscillator. A sensing system detects the motion of the multi-mode torsional oscillator in response to forces exerted on the sample and provides an output signal. A processor receives the output signal and processes the output signal to reproduce a data representative of the moments contained within the sample.
摘要翻译：本发明提供一种用于力感测显微镜工具的多模式扭转振荡器。在本发明的一个实施例中，将样品安装在多模式扭转振荡器上。磁场发生器使样品偏振，并将样品的瞬间耦合到多模式扭转振荡器。感测系统响应于施加在样品上的力而检测多模式扭转振荡器的运动并提供输出信号。处理器接收输出信号并处理输出信号以再现代表样品中包含的力矩的数据。

3. 发明申请

WO02042741A1 CONDUCTIVE PROBE FOR SCANNING MICROSCOPE AND MACHINING METHOD USING THE SAME 审中-公开
标题翻译：用于扫描显微镜的导电性探针和使用其的加工方法
公开(公告)号：WO02042741A1
公开(公告)日：2002-05-30
申请号：PCT/JP2001/008615
申请日：2001-09-28
IPC分类号： B82B1/00 , B82B3/00 , G01Q60/16 , G01Q60/38 , G01Q60/40 , G01Q70/00 , G01Q70/12 , G01N13/12 , G12B21/04
CPC分类号： G01Q60/16 , G01Q60/38 , G01Q60/54 , G01Q70/12
摘要： A conductive probe for a scanning microscope capable of applying a voltage between a conductive nanotube serving as a probe and a specimen or a current to them. A conductive probe (20) for a scanning microscope for collecting physical properties of the surface of a specimen by means of the tip (14a) of a conductive nanotube probe (12) fixed to a cantilever (4) is characterized in that the conductive probe (20) is composed of a conductive coating (17) provided on the surface of the cantilever (4), a conductive nanotube (12) the root part (16) of which is provided in contact with the surface of the necessary portion of the cantilever (4), and a conductive deposit (18) covering from the root part (16) to a part of the conductive coating (17) and fixing the conductive nanotube (12), and the conductive nanotube (12) is electrically connected to the conductive coating (17) through the conductive deposit (18).
摘要翻译：用于能够在用作探针的导电纳米管和样品之间施加电压的扫描显微镜的导电探针或电流。一种用于通过固定到悬臂（4）的导电性纳米管探针（12）的尖端（14a）收集试样表面的物理特性的扫描显微镜的导电探针（20），其特征在于，导电探针（20）由设置在所述悬臂（4）的表面上的导电涂层（17），导电性纳米管（12）构成，所述导电性纳米管的根部（16）设置成与所述悬臂悬臂（4）和从根部（16）覆盖到导电涂层（17）的一部分并且固定导电纳米管（12）的导电沉积物（18），并且导电纳米管（12）电连接到导电涂层（17）穿过导电沉积物（18）。

4. 发明申请

WO1996035225A1 TAPERED STRUCTURE SUITABLE FOR MICROTHERMOCOUPLES MICROELECTRODES, FIELD EMISSION TIPS AND MICROMAGNETIC SENSORS WITH FORCE SENSING CAPABILITIES 审中-公开
标题翻译：适用于MICROTHERMOCUTPLES微电子，场发射提示和具有感测能力的微型传感器的锥形结构
公开(公告)号：WO1996035225A1
公开(公告)日：1996-11-07
申请号：PCT/US1996005655
申请日：1996-04-29
申请人： LEWIS, Aaron , FISH, Galina , KOKOTOV, Sofia , LIBERMAN, Kloni
IPC分类号： H01J37/256
CPC分类号： G01Q70/14 , G01K7/028 , G01K7/06 , G01Q60/54 , H01J1/304 , H01J9/025
摘要： A tapered, nonconductive structure (10) having a hollow core (18) and a conical tip (14) includes a metal wire (16) within the core (18). The wire (16) is sealed within, and is exposed at the end (22) of, the tip (14). An electrically conductive or semiconductive layer (24) on the exterior of the tip (14) form a point thermocouple contact with the wire. The tip (14) may be fabricated, for example, by placing a metal wire (16) within a tube (12), and heating and pulling the tube (12) to produce two tapered micropipettes. Thereafter, a thin metal or semiconductor film (24) is evaporated onto the outer surface.
摘要翻译：具有中空芯（18）和锥形尖端（14）的锥形非导电结构（10）包括在芯部（18）内的金属线（16）。线（16）被密封在尖端（14）的端部（22）处并且暴露在尖端（14）的端部（22）处。尖端（14）的外部上的导电或半导体层（24）形成与导线的点热电偶接触。尖端（14）可以例如通过将金属线（16）放置在管（12）内，并且加热和拉动管（12）以产生两个锥形微量移液管来制造。此后，薄的金属或半导体膜（24）蒸发到外表面上。

5. 发明申请

WO2013047538A1 交流磁場の磁気プロファイル測定装置および磁気プロファイル測定方法审中-公开
标题翻译：交流磁场磁性轮廓测量装置和磁性轮廓测量方法
公开(公告)号：WO2013047538A1
公开(公告)日：2013-04-04
申请号：PCT/JP2012/074600
申请日：2012-09-25
申请人：国立大学法人秋田大学
发明人：齊藤　準 , 吉村　哲
IPC分类号： G01Q60/50 , G01Q30/04
CPC分类号： G01N27/725 , B82Y35/00 , G01Q30/04 , G01Q60/54 , G01R33/0385
摘要：　交流磁場が存在する空間を走査することで、当該空間の磁気プロファイルや交流磁場発生デバイスの磁気プロファイルを測定する。　先端に探針が取り付けられたカンチレバー１１と、カンチレバーの共振周波数ないし共振周波数に近い周波数で励振する励振器１２と、探針の振動を検出する振動センサー１３と、探針の位置の交流磁場に対応する磁気信号を復調するとともに、復調した磁気信号を位相が９０°異なる、互いに直交した２つの信号成分に分離する復調処理装置１４と、探針により前記交流磁場が存在する空間を走査する走査機構１５と、互いに直交した２つの信号成分を、初期位相のまま初期データとして記憶するデータ記憶装置と、データ記憶装置に記憶した、初期データを呼び出し、当該初期データの位相を変更したデータを複数生成する変更データ生成器と、磁場分布画像を表示する画像表示装置とを備えたことを特徴とする。
摘要翻译：通过扫描存在交流磁场的空间，该交流磁场磁轮测量装置测量所述空间的磁轮廓和交流磁场产生装置的磁轮廓。该交流磁场磁轮测量装置在其末端安装有悬臂（11），探针安装在其上，激励器（12）以悬臂的谐振频率或靠近其的频率激励，振动传感器 13），其通过探头检测振动;解调处理装置（14），其解调与探针位置处的AC磁场相对应的磁信号，并将解调的磁信号分离成相位不同的两个正交信号分量扫描机构（15），其扫描存在探测器的解调磁信号的空间;数据存储装置，其将两个正交信号分量存储为具有不变的初始相位的初始数据;修改数据发生器，其读取在存储在数据存储装置中的初始数据中，生成初始数据的相位已被修改的数据，以及图像显示装置wh 显示磁场分布图像。

6. 发明申请

WO2005006346A3 PROBE STRUCTURES INCORPORATING NANOWHISKERS, PRODUCTION METHODS THEREOF, AND METHODS OF FORMING NANOWHISKERS 审中-公开
标题翻译：纳入纳米器件的探针结构及其生产方法及其制备方法NANOWHISKERS
公开(公告)号：WO2005006346A3
公开(公告)日：2005-12-29
申请号：PCT/GB2004000066
申请日：2004-01-07
申请人： BTG INT LTD , SAMUELSON LARS IVAR , OHLSSON BJOERN JONAS
发明人： SAMUELSON LARS IVAR , OHLSSON BJOERN JONAS
IPC分类号： D01F9/08 , G01N23/00 , G01Q70/12 , G01Q70/16 , G12B21/02 , G12B21/10
CPC分类号： D01F9/08 , G01Q60/54 , G01Q70/12
摘要： A probe structure for a scanning probe microscope comprises a nanowhisker (16,34) projecting from a free end of an upstanding tip member (4,26), and being formed integrally with the tip member. In another embodiment, a data storage medium comprises an array of nanowhiskers (54), each nanowhisker being formed from magnetic material, the diameter of the nanowhisker being such that a single ferromagnetic domain exists within the nanowhisker, preferably having a diameter not greater than about 25 nm and more preferably not greater than about 10 nm, and a read/write structure comprising the probe structure for injecting a stream of spin-polarised electrons into a selected nanowhisker of the array, either for sensing the direction of magnetisation in the nanowhisker, or for forcing the nanowhisker into a desired direction of magnetisation. When the probe nanowhisker is formed by a VLS process using a catalytic particle melt, the whisker may be formed with a sacrificial segment to allow for removal of the catalytic material by selective etching of the segment.
摘要翻译：用于扫描探针显微镜的探针结构包括从直立尖端构件（4,26）的自由端突出并与尖端构件一体地形成的纳米晶须（16,34）。在另一个实施方案中，数据存储介质包括纳米晶须阵列（54），每个纳米晶须由磁性材料形成，纳米晶须的直径使得纳米晶须内存在单个铁磁畴，优选具有不大于约 25nm，更优选不大于约10nm;以及读/写结构，其包括用于将自旋极化电子流注入所述阵列的选定纳米晶须中的探针结构，用于感测纳米晶须中的磁化方向，或迫使纳米晶须进入所需的磁化方向。当通过使用催化颗粒熔体的VLS工艺形成探针纳米晶须时，晶须可以形成有牺牲段，以允许通过选择性蚀刻该段去除催化材料。

7. 发明申请

WO2004017102A3 SCANNING MAGNETIC MICROSCOPE HAVING IMPROVED MAGNETIC SENSOR 审中-公开
标题翻译：扫描磁性显微镜具有改进的磁传感器
公开(公告)号：WO2004017102A3
公开(公告)日：2004-04-29
申请号：PCT/US0325390
申请日：2003-08-14
申请人： UNIV BROWN RES FOUND , XIAO GANG
发明人： XIAO GANG
IPC分类号： G01R33/038 , H01J47/00 , H01J47/252
CPC分类号： G01Q60/54 , G01Q10/04 , G01Q30/04 , G01R33/0385
摘要： A scanning magnetic microscope SMM (20) includes a sensor (10) for sensing a magnetic field generated by a specimen (78), the sensor including one of a MTJ, a GMR, or an EHE sensor; translation apparatus (22A-C, 52) for translating the sensor relative to a surface of sad specimen; and a data processor (50), having an input coupled to an output of said sensor, for constructing an image of said magnetic field. The sensor preferably includes one to three sensing units each defining a sensing axis for sensing a component of a magnetic field from a specimen, the sensing units disposed such that the sensing axes are orthogonal to one another. Pluralities of such sensors can be disposed in two or three dimensional arrays. The SMM can be used for examining the current flow in ICs, electromigration, magnetic data storage media, biomagnetic systems and magnetic ink used to print currency.
摘要翻译：扫描型磁性显微镜SMM（20）包括用于感测由样本（78）产生的磁场的传感器（10），所述传感器包括MTJ，GMR或EHE传感器中的一个; 平移装置（22A-C，52），用于相对于伤心样本的表面平移传感器; 和数据处理器（50），具有耦合到所述传感器的输出的输入，用于构建所述磁场的图像。传感器优选地包括一个至三个感测单元，每个感测单元限定用于感测来自样本的磁场的分量的感测轴，感测单元布置成使得感测轴彼此正交。多个这种传感器可以布置成二维或三维阵列。 SMM可用于检查IC，电子迁移，磁性数据存储介质，生物磁性系统和用于印刷货币的磁性墨水中的电流。

8. 发明申请

WO2003001225A1 SCANNING MAGNETIC MICROSCOPE HAVING IMPROVED MAGNETIC SENSOR 审中-公开
标题翻译：具有改进磁传感器的扫描磁性显微镜
公开(公告)号：WO2003001225A1
公开(公告)日：2003-01-03
申请号：PCT/US2002/015559
申请日：2002-05-17
申请人： BROWN UNIVERSITY RESEARCH FOUNDATION
发明人： XIAO, Gang
IPC分类号： G01R33/02
CPC分类号： G01Q60/54 , G01R33/0385
摘要： A scanning magnetic microscope (34) includes a specimen stage (26) for holding a specimen to be examined; a sensor (10) for sensing a magnetic field generated by the specimen, the sensor including one of a magnetic tunneling junction (MTJ) sensor, a spin valve sensor, or an extraordinary Hall effect sensor; translation apparatus (30) for translating the sensor relative to a surface of said specimen; and a data processor, having an input coupled to an output of said sensor, for constructing an image of said magnetic field. In another embodiment a read/write head from a hard disk drive is shown to make a suitable magnetic sensor. The scanning magnetic microscope can be used for examining the current flow in integrated circuits and related phenomenon, such as electromigration, as well as magnetic data storage media and biomagnetic systems, to mention a few suitable applications.
摘要翻译：扫描磁显微镜（34）包括用于保持待检样本的样本台（26）传感器，用于感测由样本产生的磁场，所述传感器包括磁隧道结（MTJ）传感器，自旋阀传感器或非凡霍尔效应传感器之一; 翻译装置（30），用于相对于所述样本的表面平移所述传感器; 以及数据处理器，具有耦合到所述传感器的输出的输入，用于构造所述磁场的图像。在另一个实施例中，示出了来自硬盘驱动器的读/写头，以制造合适的磁传感器。扫描磁显微镜可用于检查集成电路中的电流和相关现象，如电迁移，以及磁数据存储介质和生物磁系统，以提及一些合适的应用。

9. 发明申请

WO9844343A3 METHOD FOR PRODUCING AND USING EDDY CURRENTS TO DETECT MAGNETIC AND ELECTRICAL PROPERTIES OF MATERIALS 审中-公开
标题翻译：生产和使用EDD电流来检测材料的磁性和电学性质的方法
公开(公告)号：WO9844343A3
公开(公告)日：1998-12-30
申请号：PCT/DE9801002
申请日：1998-04-01
申请人： AMS HOLDING GES FUER ANGEWANDT , HARTMANN UWE
发明人： HARTMANN UWE
IPC分类号： G01N27/20 , G01N27/72 , G01N27/82 , G01N27/90 , G01Q60/54
CPC分类号： G01Q60/54 , G01N27/825 , G01N27/902
摘要： Es wird ein Verfahren zu einer Erzeugung und zu einem Einsatz von Wirbelströmen zur Erfassung von Magnetfeldern und elektrischen Leitfähigkeiten von Materialien offenbart, das eine beeinflussungsfreie Messung der Magnetfelder und Leitfähigkeiten mit höchster Ortsauflösung erlaubt. Dabei werden zunächst entweder eine elektrisch leitfahige oder eine permanent-magnetische Spitze einer Oberfläche angenähert und dann Wirbelströme entweder in der Spitze oder in der Probe erzeugt. Die von den Wirbelströmen erzeugten Magnetfelder bewirken eine Kraft zwischen Probenoberfläche und Spitze, die gemessen wird und die von den jeweiligen Probeneigenschaften abhängt. Aus der Messung der Kraftwirkungen lassen sich dann die Probeneigenschaften bestimmen.

10. 发明申请

WO2017006397A1 カンチレバー审中-公开
标题翻译：悬臂
公开(公告)号：WO2017006397A1
公开(公告)日：2017-01-12
申请号：PCT/JP2015/069311
申请日：2015-07-03
申请人：国立大学法人名古屋工業大学 , オリンパス株式会社
发明人：北澤　正志 , 有馬　通継 , 種村　眞幸
IPC分类号： G01Q60/56 , G01Q60/54 , G01Q70/10
CPC分类号： G01Q60/54 , G01Q60/56 , G01Q70/10 , G01Q70/12
摘要：カンチレバー１は、支持部１０と、支持部１０から延設されたレバー部２０と、レバー部２０の自由端側に形成された頂角が鋭角の突起部３０と、突起部３０の先端に形成された細線４１に機能性膜４２がコーティングされている探針４０と、を具備する走査型プローブ顕微鏡用であって、探針４０の断面形状の長軸/短軸比が細線４１の断面形状の長軸/短軸比よりも小さい。
摘要翻译：一种用于扫描探针显微镜的悬臂1，其具有支撑部分10，其中杆部分20从支撑部分10延伸设置，其中突出部分30形成为自由杠杆部分20的前侧，具有锐角顶角，以及形成在突出部分30的尖端处的探针40，并且是已经涂覆有功能膜42的细丝41。探针40的横截面形状的长轴/短轴比小于细线41的截面形状的长轴/短轴比。

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