专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明申请

WO2016209339A1 WAFER LEVEL MEMS PACKAGE INCLUDING DUAL SEAL RING 审中-公开
标题翻译： WAFER LEVEL MEMS封装包括双密封圈
公开(公告)号：WO2016209339A1
公开(公告)日：2016-12-29
申请号：PCT/US2016/028338
申请日：2016-04-20
申请人： RAYTHEON COMPANY
发明人： DIEP, Buu Q. , KENNEDY, Adam M. , KOCIAN, Thomas Allan , LAMB, Mark
IPC分类号： B81C1/00 , B81B7/00
CPC分类号： B81B7/0058 , B81B7/0041 , B81B2201/0207 , B81B2201/04 , B81C1/00269 , B81C1/00317 , B81C2203/0109 , B81C2203/0118 , B81C2203/0145 , B81C2203/019
摘要： A microelectromechanical systems (MEMS) package includes a substrate extending between a first pair of outer edges to define a length and a second pair of outer edges to define a width. A seal ring assembly is disposed on the substrate and includes at least one seal ring creating a first boundary point adjacent to at least one MEMS device and a second boundary point adjacent at least one of the outer edges. The package further includes a window lid on the seal ring assembly to define a seal gap containing the at least one MEMS device. The seal ring assembly anchors the window lid to the substrate at the second boundary point such that deflection of the window lid into the seal gap is reduced.
摘要翻译：微机电系统（MEMS）封装包括在第一对外边缘之间延伸以限定长度的基板和限定宽度的第二对外边缘。密封环组件设置在基板上，并且包括至少一个密封环，其形成与至少一个MEMS装置相邻的第一边界点和邻近至少一个外边缘的第二边界点。封装还包括在密封环组件上的窗口盖，以限定包含至少一个MEMS器件的密封间隙。密封圈组件在第二边界点将窗口盖固定到基底，使得窗口盖进入密封间隙的偏转减小。

2. 发明申请

WO2015189051A1 MIKROSPIEGELVORRICHTUNG UND PROJEKTIONSEINRICHTUNG 审中-公开
标题翻译：微镜器件和投影设备
公开(公告)号：WO2015189051A1
公开(公告)日：2015-12-17
申请号：PCT/EP2015/061959
申请日：2015-05-29
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： STRAUB, Rainer , BAADER, Johannes , DUELL, Andreas , NJIKAM NJIMONZIE, Frederic , MUCHOW, Joerg , GRUTZECK, Helmut
IPC分类号： G02B26/08 , G02B26/10
CPC分类号： G02B26/085 , B81B3/0054 , B81B2201/04 , B81B2201/042 , B81B2203/051 , B81B2203/058 , G02B26/105 , G03B21/2066
摘要： Die vorliegende Erfindung offenbart eine Mikrospiegelvorrichtung mit einer Antriebseinrichtung, welche ein bewegliches Antriebselement, welches in einer ersten Ebene liegt, und eine Führungseinrichtung aufweist, und mit einem Spiegel, welcher federnd mit dem Antriebselement gekoppelt ist und in Ruheposition in einer zweiten Ebene liegt, welche parallel zu der ersten Ebene liegt, wobei die Führungseinrichtung ausgebildet ist, eine Bewegung des Antriebselements auf einer in der ersten Ebene liegenden Gerade zu führen. Ferner offenbart die vorliegende Erfindung eine entsprechende Projektionseinrichtung.
摘要翻译：本发明公开了一种微镜装置与具有位于第一平面内的可移动的驱动元件的驱动装置，以及一个导向装置和一个反射镜，其被弹性地联接到所述驱动元件和位于所述静止位置中的第二平面平行位于与所述第一平面，其中所述导向装置形成，所述驱动件的运动上的位于第一平面上直线引导。此外，本发明公开了一种相应的投影装置。

3. 发明申请

WO2017069620A1 PHOTONIC INTEGRATED CIRCUIT (PIC), PRESSURE SENSING SYSTEM COMPRISING SUCH A PIC AND METHOD FOR PRESSURE SENSING USING SUCH A PRESSURE SENSING SYSTEM 审中-公开
标题翻译：光电集成电路（PIC），包括这种PIC的压力传感系统以及使用这种压力传感系统进行压力传感的方法
公开(公告)号：WO2017069620A1
公开(公告)日：2017-04-27
申请号：PCT/NL2016/050718
申请日：2016-10-19
申请人： TECHNATON B.V.
发明人： GELUK, Joost Cornelis
IPC分类号： G01L11/02 , G01B11/16 , G01L1/24 , G01D3/036 , G01D5/26
CPC分类号： G01L11/02 , B81B2201/04 , G01B11/161 , G01D3/0365 , G01L1/24
摘要： The invention relates to a photonic integrated circuit (PIC) for use in a pressure sensing system comprising an integrated photonic component (IPC), configured to be exposed to an external pressure and to generate a wavelength response based on deformation, wherein the wavelength response comprises a pressure-induced wavelength response and a temperature-induced wavelength response. The pressure sensing system further comprises an incoming waveguide for coupling a light source to an optical input of the IPC and an outgoing waveguide for coupling an optical output of the IPC to analysis means. The pressure sensing system further comprises temperature correction means, wherein the temperature correction means provide information relating to the temperature-induced wavelength response. The present invention further relates to a pressure sensing system comprising a PICas described above. The present invention further relates to a method for pressure sensing using a pressure sensing system as described above.
摘要翻译：本发明涉及一种用于压力传感系统中的光子集成电路（PIC），其包括集成光子器件（IPC），该集成光子器件被配置为暴露于外部压力并产生基于波长响应其中所述波长响应包括压力引起的波长响应和温度引起的波长响应。压力感测系统还包括用于将光源耦合到IPC的光输入端的输入波导管和用于将IPC的光输出端耦合到分析装置的输出波导管。压力传感系统还包括温度校正装置，其中温度校正装置提供与温度引起的波长响应有关的信息。本发明还涉及一种包括上述PICas的压力传感系统。本发明还涉及一种使用如上所述的压力感测系统进行压力感测的方法。

4. 发明申请

WO2010096706A2 OPTOMECHANICAL NON-RECIPROCAL DEVICE 审中-公开
标题翻译：光学机械的非互惠装置
公开(公告)号：WO2010096706A2
公开(公告)日：2010-08-26
申请号：PCT/US2010/024806
申请日：2010-02-19
申请人： CORNELL UNIVERSITY , MANIPATRUNI, Sasikanth , LIPSON, Michal
发明人： MANIPATRUNI, Sasikanth , LIPSON, Michal
IPC分类号： H01S3/08
CPC分类号： G02B26/001 , A61F9/022 , A61F9/023 , B81B3/0083 , B81B2201/04 , B81B2201/047 , B81B2203/0118 , B81B2203/0315 , B81C1/0015 , B81C2201/013 , G02B1/005 , G02B6/4209 , G02C7/104 , G02C7/107 , H01S3/005 , H01S3/0064
摘要： There is set forth herein an optomechanical device which can comprise a first mirror and a second mirror forming with the first mirror a cavity. In one aspect the first mirror can be a movable mirror. The optomechanical device can be adapted so that the first mirror is moveable responsively to radiation force.
摘要翻译：这里阐述了一种光学机械装置，其可以包括第一反射镜和与第一反射镜一起形成空腔的第二反射镜。在一个方面中，第一镜子可以是可移动的镜子。可以调整光机械装置，使得第一反射镜可响应辐射力而移动。

5. 发明申请

WO2011146944A3 MEMS-BASED LEVERS AND THEIR USE FOR ALIGNMENT OF OPTICAL ELEMENTS 审中-公开
标题翻译：基于MEMS的LEVERS及其对光学元件对准的使用
公开(公告)号：WO2011146944A3
公开(公告)日：2012-03-01
申请号：PCT/US2011037621
申请日：2011-05-23
申请人： KAIAM CORP , PEZESHKI BARDIA , SHERBACK MICHAEL , TON DINH
发明人： PEZESHKI BARDIA , SHERBACK MICHAEL , TON DINH
IPC分类号： G02B6/24
CPC分类号： G02B6/4219 , B81B3/0045 , B81B2201/04 , B81B2201/047 , B81B2203/0118 , G02B6/3656 , G02B6/366 , G02B6/4204 , G02B6/4244 , G02B6/4266 , G02B7/003 , G02B7/004 , G02B26/0808 , G02B26/0875
摘要： A MEMS based alignment technology based on mounting an optical component on a released micromechanical lever configuration that uses multiple flexures rather than a single spring. The optical component may be a lens. The use of multiple flexures may reduce coupling between lens rotation and lens translation, and reduce effects of lever handle warping on lens position. The device can be optimized for various geometries.
摘要翻译：基于MEMS的对准技术，其基于将光学部件安装在使用多个挠曲而不是单个弹簧的释放的微机械杆配置上。光学部件可以是透镜。使用多个弯曲可能会减少透镜旋转和透镜平移之间的耦合，并减少杠杆手柄翘曲对透镜位置的影响。该设备可以针对各种几何形状进行优化。

6. 发明申请

WO2011146944A2 MEMS-BASED LEVERS AND THEIR USE FOR ALIGNMENT OF OPTICAL ELEMENTS 审中-公开
标题翻译：基于MEMS的LEVERS及其对光学元件对准的使用
公开(公告)号：WO2011146944A2
公开(公告)日：2011-11-24
申请号：PCT/US2011/037621
申请日：2011-05-23
申请人： KAIAM CORP. , PEZESHKI, Bardia , SHERBACK, Michael , TON, Dinh
发明人： PEZESHKI, Bardia , SHERBACK, Michael , TON, Dinh
CPC分类号： G02B6/4219 , B81B3/0045 , B81B2201/04 , B81B2201/047 , B81B2203/0118 , G02B6/3656 , G02B6/366 , G02B6/4204 , G02B6/4244 , G02B6/4266 , G02B7/003 , G02B7/004 , G02B26/0808 , G02B26/0875
摘要： A MEMS based alignment technology based on mounting an optical component on a released micromechanical lever configuration that uses multiple flexures rather than a single spring. The optical component may be a lens. The use of multiple flexures may reduce coupling between lens rotation and lens translation, and reduce effects of lever handle warping on lens position. The device can be optimized for various geometries.
摘要翻译：基于MEMS的对准技术，其基于将光学部件安装在使用多个挠曲而不是单个弹簧的释放的微机械杆配置上。光学部件可以是透镜。使用多个弯曲可能会减少透镜旋转和透镜平移之间的耦合，并减少杠杆手柄翘曲对透镜位置的影响。该设备可以针对各种几何形状进行优化。

7. 发明申请

WO2010096706A3 OPTOMECHANICAL NON-RECIPROCAL DEVICE 审中-公开
标题翻译： OPTOMECHANICAL非接收装置
公开(公告)号：WO2010096706A3
公开(公告)日：2010-11-04
申请号：PCT/US2010024806
申请日：2010-02-19
申请人： UNIV CORNELL , MANIPATRUNI SASIKANTH , LIPSON MICHAL
发明人： MANIPATRUNI SASIKANTH , LIPSON MICHAL
IPC分类号： H01S3/08
CPC分类号： G02B26/001 , A61F9/022 , A61F9/023 , B81B3/0083 , B81B2201/04 , B81B2201/047 , B81B2203/0118 , B81B2203/0315 , B81C1/0015 , B81C2201/013 , G02B1/005 , G02B6/4209 , G02C7/104 , G02C7/107 , H01S3/005 , H01S3/0064
摘要： There is set forth herein an optomechanical device which can comprise a first mirror and a second mirror forming with the first mirror a cavity. In one aspect the first mirror can be a movable mirror. The optomechanical device can be adapted so that the first mirror is moveable responsively to radiation force.
摘要翻译：这里提出了一种光学机械装置，其可以包括第一反射镜和形成有第一反射镜的第二反射镜的腔。在一个方面，第一镜可以是可移动镜。光学机械装置可以适于使得第一反射镜能够响应于辐射力而移动。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式