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    • 5. 发明申请
    • 薄膜積層体の製造装置
    • 用于生产薄膜层压的装置
    • WO2011016471A1
    • 2011-02-10
    • PCT/JP2010/063151
    • 2010-08-04
    • 富士電機ホールディングス株式会社西澤 正紀横山 勝治山田 隆典
    • 西澤 正紀横山 勝治山田 隆典
    • C23C14/56C23C16/54H01L31/04
    • C23C14/562B65H23/0324B65H23/038B65H23/195B65H23/26B65H2301/323B65H2301/51145
    •  帯状可撓性基板の搬送時の弛みあるいは巻取りロールに対する巻取り時のずれを防止し得る薄膜積層体の製造装置を提供する。 ロール状に巻かれた帯状可撓性基板の幅方向が縦姿勢になるようにして、帯状可撓性基板を横方向に搬送し、該帯状可撓性基板の搬送方向に成膜室を設け、該成膜室に、帯状可撓性基板を搬送して、成膜室に設けられた成膜装置によって帯状可撓性基板に薄膜を成膜して薄膜積層体をロール状に巻き取る薄膜積層体の製造装置において、前記薄膜積層体1Aをロール状に巻き取る巻取り装置4の前段に調整ロール9を設け、この調整ロール9の前段に、前記薄膜積層体1Aの少なくとも上端部を挟持して一定の高さを保持して搬送する一対のグリップローラ7,8を配置したことにある。
    • 本发明提供一种薄膜层叠体的制造装置,其能够防止柔性条状基材的供给时的松弛,或者在将挠性条状基材缠绕在卷绕辊上时防止偏移。 一种薄膜层叠体的制造方法,其特征在于,沿宽度方向供给柔性条状基材,使得卷绕成卷的柔性条状基材的宽度方向垂直取向, 在柔性条状基板的进给方向上设置有成膜室。 柔性条状基板被供给到成膜室,并且通过设置在成膜室中的成膜装置在柔性条状基板上形成薄膜,薄膜层压 卷成卷状。 在薄膜层叠体的制造装置中,在将薄膜层叠体(1A)卷成卷状的卷绕装置(4)之前的阶段设置有调整辊(9) 用于夹紧至少薄膜层压体(1A)的顶端以保持和进给其固定高度的辊(7,8)设置在调节辊(9)之前的阶段。