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1. 发明申请

WO2015194266A1 キャリアの一時保管装置と保管方法审中-公开
标题翻译：载波缓冲设备和存储方法
公开(公告)号：WO2015194266A1
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：PCT/JP2015/062940
申请日：2015-04-30
申请人：村田機械株式会社
发明人：高井　要
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67733 , B65G2201/0297 , H01L21/67259 , H01L21/67265 , H01L21/67712 , H01L21/67724 , H01L21/67736 , H01L21/67769
摘要：天井走行車にトラブルが生じ、かつ天井走行車とコントローラとの通信が不能な状態でも、天井走行車とローカル台車との干渉を防止する。天井走行車とロードポートとの間でキャリアを一時保管する。天井走行車の走行レールの下方でかつロードポートの直上部のローカル台車の走行レールに沿って、ローカル台車を走行させると共に、バッファを複数個設ける。天井走行車と前記ローカル台車は端末を介してコントローラと通信自在で、天井走行車のホイストの要素及び昇降中のキャリアを検出するセンサを、ローカル台車と干渉しない高さに設け、センサがホイストの要素あるいはキャリアを検出すると、前記ローカル台車の走行を制限する。
摘要翻译：本发明即使在架空车辆发生问题的状态下也能够防止架空车辆和本地车辆之间的干扰，并且不能在架空车辆与控制器之间进行通信。运载工具在架空车辆和负载端口之间被缓冲，使本地车辆沿着用于架空车辆的轨道的下方的本地车辆轨道行进并且直接位于负载端口的上方，并且提供多个缓冲器。架空车辆和本地车辆可以经由端子与上述控制器通信，并且检测架空车辆的起重元件和升降架的传感器设置在所述传感器不干扰本地车辆的高度。当所述传感器检测到起重机构或载体时，局部车辆的行驶受到限制。

2. 发明申请

WO2015071951A1 物品収納設備（ARTICLE STORAGE FACILITY）审中-公开
标题翻译：文章存储设施
公开(公告)号：WO2015071951A1
公开(公告)日：2015-05-21
申请号：PCT/JP2013/080534
申请日：2013-11-12
申请人：株式会社ダイフク
发明人：柴田優 , 大塚洋
IPC分类号： B65G1/00 , H01L21/673
CPC分类号： B65G1/0485 , B65G1/0435 , B65G1/0464 , B65G1/0492 , B65G1/06 , B65G65/00 , B65G2201/0297 , B65G2249/02 , H01L21/67724 , H01L21/67733 , H01L21/67766 , H01L21/67769
摘要：物品収納設備の収納効率の低下を抑制しながら後側搬送装置を設置できる物品収納設備を提供する。物品収納棚（２）の背面より後方に位置する外部箇所（Ｐ１）と物品収納棚（２）の背面より前方に位置する内部箇所（Ｐ２）との間で物品（Ｗ）を載置搬送自在な後側搬送装置（４）を設け、内部箇所（Ｐ２）を、棚上下方向に並ぶ収納部（１）の間に設定し、後側搬送装置（４）を、物品（Ｗ）を載置支持する載置支持部（２０）と、物品（Ｗ）を内部箇所（Ｐ２）及び外部箇所（Ｐ１）に移動させるべく載置支持部（２０）を駆動操作する駆動操作部（２１）とを備えて構成し、駆動操作部（２１）を、収納部（１）に収納された物品（Ｗ）より棚前後幅方向で後方に設ける。
摘要翻译：提供一种物品储存设备，其中可以在抑制物品存放设备的储存效率下降的同时安装后侧运送装置。物品储存设备设置有后侧输送装置（4），物品（W）能够在物品（W）的后方位于物品收纳架的背面之间的外部位置（P1） 2）和位于物品储存架（2）的背面的前方的内部位置（P2），并且具有设置在搁架垂直方向上布置的存储单元（1）之间的内部位置（P2）。后侧输送装置（4）构成为具备有助于物品（W）的配置的配置辅助部（20）和依次驱动安置辅助部（20）的驱动动作部（21）将物品（W）移动到内部位置（P2）和外部位置（P1）。驱动操作单元（21）还设置在比存储在存储单元（1）中的物品（W）的自身的前后宽度方向的后方。

3. 发明申请

WO2014017222A1 天井走行車システム及び天井走行車システムの制御方法审中-公开
标题翻译：超越旅行车系统的超越行车系统及控制方法
公开(公告)号：WO2014017222A1
公开(公告)日：2014-01-30
申请号：PCT/JP2013/066701
申请日：2013-06-18
申请人：村田機械株式会社
发明人：太田　達司
IPC分类号： B65G1/04 , B65G1/00
CPC分类号： B66C13/18 , B65G2201/0297 , B66C19/00 , H01L21/67288 , H01L21/6773 , H01L21/67733
摘要：　物品がローカル台車（８）の軌道（１０）の一対のレールの間を昇降する際に、レールと接触しないようにする。各々ホイスト（２２、２７）を有する天井走行車（４）とローカル台車（８）がロードポート（１６、１７）の直上部を走行する。ローカル台車（８）の軌道（１０）は天井走行車（４）の軌道（６）の直下の一対のレールから成り、一対のレールの間を天井走行車（４）のホイスト（２２）により物品が上下に通過する。ローカル台車（８）の軌道（１０）の長手方向と水平面内で直角な方向へ横揺れしている物品を検出するセンサ（４０）が、少なくともローカル台車（８）の軌道（１０）の下部で、かつ横揺れがない際の物品の昇降経路から外れた位置に設けられ、センサ（４０）が横揺れしている物品を検出すると、天井走行車（４）及びローカル台車（８）のホイスト（２２、２７）の昇降を停止させる。
摘要翻译：本发明被构造成使得当物品在构成用于本地车辆（8）的轨道（10）的一对轨道之间上下移动时，不会发生与轨道的接触。高架行驶车辆（4）和当地车辆（8）分别设置有起重机（22,27），并直接在装载口（16,17）上行进。用于本地车辆（8）的轨道（10）由直接位于高架行驶车辆（4）的轨道（6）下方的一对轨道制成。使用架空行驶车辆（4）的起重机（22），在一对轨道之间沿上下方向运送物品。用于检测在平行于平行于当前车辆的轨道（10）的纵向方向的平面内在与其垂直的方向上摆动的物品的传感器（40）至少设置在底部当所述物品不摇摆时，在从所述物品的提升/降低路径移除的位置处的所述当地车辆（8）的轨道（10）。当传感器（40）检测到摆动物品时，架空行驶车辆（4）的起重机（22,27）和当地车辆（8）被制成停止升降。

4. 发明申请

WO2014017221A1 天井走行車システム及び天井走行車システムでの移載制御方法审中-公开
标题翻译：超越旅行车系统的超越行车系统和传输控制方法
公开(公告)号：WO2014017221A1
公开(公告)日：2014-01-30
申请号：PCT/JP2013/066700
申请日：2013-06-18
申请人：村田機械株式会社
发明人：太田　達司
IPC分类号： B65G1/04
CPC分类号： H01L21/67733 , B65G2201/0297 , B66C13/18 , B66C19/00 , H01L21/67259 , H01L21/67288 , H01L21/67736
摘要：　天井走行車（４）がローカル台車（８）の軌道（１０）等を障害物として誤検出しないようにする。天井走行車（４）はホイスト（２２）と下方の障害物を監視する第１のセンサ（３８）とを備え、ローカル台車（８）はホイスト（２７）を備えて前記軌道（１０）に沿って走行する。バッファ（１２）は前記軌道（１０）から鉛直下向きの支柱（３２）により吊り下げられ、かつロードポート（１６、１７）の直上部にはバッファ（１２）の部材が設けられていない。前記軌道（１０）に、ロードポート（１６、１７）付近でかつ処理装置（１３）とは反対側の通路側エリアの障害物を監視する第２のセンサ（３６）を設けて、障害物検出信号を天井走行車（４）及びローカル台車（８）に送信する。天井走行車（４）及びローカル台車（８）は、第２のセンサ（３６）の障害物検出信号を受信すると、ホイスト（２２、２７）を停止させ、かつ天井走行車（４）は、通路側エリアの障害物を第１のセンサ（３８）により監視しない。
摘要翻译：在本发明中，架空行驶车（4）构成为不会以本地车（8）的轨道（10）等作为障碍物进行错误地检测。架空行驶车辆（4）设置有提升机（22）和第一传感器（38），其监测低于所述传感器的障碍物。本地推车（8）设置有起重机（27）并沿着轨道（10）行进。缓冲器（12）通过向下的垂直极（32）从轨道（10）悬挂。缓冲器（12）构件不设置在装载口（16,17）正上方的区域。在轨道（10）上设置有用于监视装载口（16,17）附近的障碍物和与处理装置（13）相对的路径侧区域中的障碍物的第二传感器（36）检测信号到高架行驶车辆（4）和本地车辆（8）。在从第二传感器（36）接收到障碍物检测信号时，架空行驶车辆（4）和本地车辆（8）停止起重机（22,27），并且架空行驶车辆（4）不使用第一传感器（38）监测通路侧区域的障碍物。

5. 发明申请

WO2010140220A1 無限駆動媒体を備えた搬送システムとそのキャリアの識別方法並びにキャリア审中-公开
标题翻译：具有无端驱动介质的输送系统，识别载体的载体和载体的方法
公开(公告)号：WO2010140220A1
公开(公告)日：2010-12-09
申请号：PCT/JP2009/060075
申请日：2009-06-02
申请人：村田機械株式会社 , 木股友也
发明人：木股　友也
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67766 , B65G47/503 , B65G2201/0297 , H01L21/67259 , H01L21/67294 , H01L21/67727
摘要：　半導体カセットなどを保持して搬送し、かつキャリア識別用の被識別部を備えた複数個のキャリアを、エンドレスベルトに取り付けて周回させる。キャリアとの間で物品を受け渡しするハンドと、ベルトの周回方向に沿ってハンドの上流側の所定位置で被識別部を検出するセンサ、とを備えたステーションを複数個設ける。センサの信号により、キャリアを識別すると共に、キャリアが所定位置に出現したことを認識し、所望のキャリアに対してハンドを動作させる。キャリアの位置を検出するためのセンサで、キャリアを識別できる。
摘要翻译：用于保持和携带例如半导体盒并且具有要识别用于载体识别的部分的载体附接到环形带并循环。提供了各自具有用于将物品传送到载体的手的手柄和用于沿着皮带的循环方向在手的上游的预定位置检测要识别的部分的传感器。可以基于来自传感器的信号来识别每个载体，可以识别在预定位置的载体的外观，并且使手作用在期望的载体上。可以通过用于检测载体位置的传感器识别每个载体。

6. 发明申请

WO2010079600A1 物品収納設備审中-公开
标题翻译：文章接收设施
公开(公告)号：WO2010079600A1
公开(公告)日：2010-07-15
申请号：PCT/JP2009/050138
申请日：2009-01-08
申请人：株式会社ダイフク , 吉岡秀郎
发明人：吉岡秀郎
IPC分类号： B65G1/00
CPC分类号： B65G1/02 , B65G1/04 , B65G2201/0297
摘要：　昇降式足場を、回転操作される巻取り回転体１３から繰り出される複数本の吊り下げ用ワイヤにて吊り下げ支持されて巻取り回転体１３の回転により昇降移動するように構成し、下降操作される昇降式足場を作業用高さで受け止め支持する支持部と、巻取り回転体１３の昇降式足場の下降側への回転を昇降式足場が作業用高さに達すると阻止するストッパー３１とを設ける。
摘要翻译：物品接收设备具有升降工作平台，其构造成使得平台由旋转操作的卷绕旋转体（13）支撑的多个悬挂线以悬挂的方式支撑，并且通过旋转旋转体（13）的旋转而垂直移动）。物品接收设备还具有用于在工作高度接收和支撑平台的支撑部分，并且具有止动件（31），用于当平台到达工作高度时防止卷绕旋转体（13）旋转平台降低的方向。

7. 发明申请

WO2009125616A1 物品収納設備审中-公开
标题翻译：文章存储设施
公开(公告)号：WO2009125616A1
公开(公告)日：2009-10-15
申请号：PCT/JP2009/050474
申请日：2009-01-15
申请人：株式会社ダイフク , 乾吉隆
发明人：乾吉隆
IPC分类号： B65G1/04 , H01L21/673
CPC分类号： H01L21/67769 , B65G2201/0297
摘要：　構成の複雑化を招くのを防止しながら、棚前後方向での設置スペースをより小さくすることができる物品収納設備の提供。　上下方向及び左右方向に収納部１を複数備えた物品収納棚２と、その物品収納棚２における各収納部１に物品３を搬送自在な物品搬送装置４とが設けられ、物品搬送装置４は、物品収納棚２の棚横幅方向に移動自在な移動体１２と、その移動体１２に対して物品収納棚２の棚前後方向に移動自在な昇降案内マスト１３と、棚前後方向での昇降案内マスト１３の移動により収納部１に対する物品移載用の突出位置と収納部１から引退する引退位置とに移動自在で且つ昇降案内マスト１３にて昇降自在に案内支持された物品支持体１４とから構成されている。
摘要翻译：一种物品储存设备，其在机架的前后方向上需要较少的安装空间，这不会使设施的结构复杂化。物品储存设备由设置有从上下左右方向排列的储存部分（1）的物品收纳架（2）构成，也可由物品输送装置（4）构成，该物品输送装置）到物品收纳架（2）的各物品收容部（1）。物品输送装置（4）由能够在物品收纳架（2）的横向宽度方向移动的移动体（12）构成，能够相对于移动体移动的垂直移动引导桅杆（13）（12）在所述物品收纳架（2）的前后方向上移动的物品支撑体（14），所述物品支撑体（14）通过所述垂直方向的移动能够垂直移动地被所述垂直运动导引杆（13）支撑，运动引导桅杆（13）在机架的前后方向之间，用于相对于收纳部分（1）进行物品转移操作的突出位置和物品支承体（14）从收纳部分收回的缩回位置第（1）节。

8. 发明申请

WO2006104115A1 自動搬送システム审中-公开
标题翻译：自动输送系统
公开(公告)号：WO2006104115A1
公开(公告)日：2006-10-05
申请号：PCT/JP2006/306194
申请日：2006-03-27
申请人：アシストシンコー株式会社 , 村田正直
发明人：村田正直
IPC分类号： B65G1/00 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67294 , B65G2201/0297 , G06Q10/06 , H01L21/67733 , H01L21/67736 , H01L21/67775 , H01L21/68707
摘要：　少なくとも１つの保管ユニットと複数の製造装置との間を制御装置の指令により複数の搬送台車で搬送される被搬送物を安価でかつ簡便にしかも高い信頼性をもって管理する。全てのキャリア１８に無線通信機能を内蔵したＩＤカード２０を設置し、一部の搬送台車１０に無線通信機能を内蔵したＩＤ読み書き装置２５を設置する。そして、ＩＤ読み書き装置２５に接続されたＭＣＳ４の指令によりＩＤカード２０に対してキャリアＩＤを読み書きし、キャリアＩＤ管理部４ａでキャリアＩＤの管理を行う。
摘要翻译：物体在至少一个存储单元和多个制造装置之间的多个输送台上传送。通过控制装置的指令容易地管理对象，并具有高可靠性和低成本。具有内置无线电通信功能的身份证（20）安装在所有载体（18）中，并且具有内置无线电通信功能的ID读取器/写入器（25）安装在一些传送AGV（自动导向车辆）（10）。通过连接到ID阅读器/写入器（25）的MCS（4）的指令，从ID卡（20）读取/写入载体ID。载体ID管理单元（4a）管理载波ID。

9. 发明申请

WO2004068563A2 METHODS AND APPARATUS FOR TRANSPORTING SUBSTRATE CARRIERS 审中-公开
标题翻译：用于运输基板载体的方法和装置
公开(公告)号：WO2004068563A2
公开(公告)日：2004-08-12
申请号：PCT/US2004/002402
申请日：2004-01-27
申请人： APPLIED MATERIALS, INC. , RICE, Michael, R. , LOWRANCE, Robert, B. , ELLIOTT, Martin, R. , HUDGENS, Jeffrey, C. , ENGLHARDT, Eric, A.
发明人： RICE, Michael, R. , LOWRANCE, Robert, B. , ELLIOTT, Martin, R. , HUDGENS, Jeffrey, C. , ENGLHARDT, Eric, A.
IPC分类号： H01L21/00
CPC分类号： H01L21/67706 , B65G17/20 , B65G37/02 , B65G2201/0297 , H01L21/67727 , H01L21/6773 , H01L21/67769 , H01L21/67778 , Y10S414/135
摘要： According to a first aspect, a first conveyor system is provided that is adapted to deliver substrate carriers within a semiconductor device manufacturing facility. The first conveyor system includes a ribbon that forms a closed loop along at least a portion of the semiconductor device manufacturing facility. The ribbon is adapted to (1) be flexible in a horizontal plane and rigid in a vertical plane; and (2) transport a plurality of substrate carriers within at least a portion of the semiconductor device manufacturing facility. Numerous other aspects are provided, as are systems, methods and computer program products in accordance with these and other aspects.
摘要翻译：根据第一方面，提供了一种适于在半导体器件制造设备内传送衬底载体的第一传送系统。第一输送机系统包括沿半导体器件制造设备的至少一部分形成闭合回路的带状物。该带适于（1）在水平面上具有柔性并且在垂直平面中是刚性的; 和（2）在所述半导体器件制造设备的至少一部分内传输多个衬底载体。还提供了许多其他方面，以及根据这些和其它方面的系统，方法和计算机程序产品。

10. 发明申请

WO2016035675A1 ロードポート及びロードポートの雰囲気置換方法审中-公开
标题翻译：装载端口和加载端口大气替代方法
公开(公告)号：WO2016035675A1
公开(公告)日：2016-03-10
申请号：PCT/JP2015/074273
申请日：2015-08-27
申请人：ローツェ株式会社
发明人：坂田　勝則 , 奥津　英和
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67778 , B65G2201/0297 , H01L21/67389 , H01L21/67393 , H01L21/67772 , H01L21/67775 , H01L21/68707
摘要：　基板収納空間内部をパージガス雰囲気に維持した状態で、搬送ロボットによる基板の搬入搬出を可能にするロードポートを提供する。基板収納容器の蓋を開放した後、解放位置よりさらに前進した第３の位置で、基板収納容器の開口部の周縁部を密閉する枠体と複数の遮蔽板が鉛直方向に配置されたシャッター部とにより基板収納容器の開口部を閉鎖する。シャッター部は複数の遮蔽板の全部または一部を局所的に移動させて狭い開口部（第３の開口部）を形成可能であり、基板収納空間内部を雰囲気置換した状態での基板の搬送は、この狭い開口部（第３の開口部）を介して行う。
摘要翻译：提供了一种允许传送机器人在衬底存储空间内的状态保持在净化气体气氛中的情况下传送和传出衬底的装载端口。在基板储存容器的盖已经打开之后，在从释放位置进一步向前的第三位置，基板收纳容器的开口部被框体封闭，框架体紧密地密封基板收纳容器的开口部的周围基板存储容器和快门单元，其包括在垂直方向上布置的多个快门板。快门单元能够通过在本地移动多个快门板中的全部或一些来形成窄的开口部分（第三开口部分）。通过该狭窄的开口部（第三开口部）进行与气氛取代状态下的基板收容空间的内部的基板转印。

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