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1. 发明申请

WO2014111637A2 PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN RÉSEAU DE CONDUCTEURS SUR UN SUBSTRAT AU MOYEN DE COPOLYMÈRES À BLOCS 审中-公开
标题翻译：用于通过嵌段共聚物制备基板上的铅笔的方法
公开(公告)号：WO2014111637A2
公开(公告)日：2014-07-24
申请号：PCT/FR2014/000010
申请日：2014-01-17
申请人： COMMISSARIAT À L' ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES
发明人： BELLEDENT, Jérôme
IPC分类号： H01L21/033
CPC分类号： H01L21/0337 , H01L21/31144 , H01L21/76816
摘要： Le procédé de fabrication de motifs en premier matériau comporte les étapes suivantes : - prévoir un substrat (1) recouvert par une couche de couverture (2), - former un premier masque au moyen d'une structure auto-organisée de copolymères à blocs, le premier masque comportant des premiers motifs, - déposer et insoler une résine (9) pour former un masque intermédiaire sur le premier masque, le masque intermédiaire recouvrant une partie des premiers motifs formés dans le premier masque et comportant des deuxièmes trous faisant face aux premiers trous, - graver la couche de couverture (2) à travers les premiers et deuxièmes trous se faisant face pour former des troisièmes trous (12), - remplir les troisièmes trous (12) par un premier matériau pour former les motifs en premier matériau.
摘要翻译：用于从第一材料制造图案的方法包括以下步骤： - 提供由覆盖层（2）覆盖的基底（1）， - 借助于自组织的嵌段共聚物结构形成第一掩模，所述第一掩模包含第一图案， - 沉积和照射树脂（9）以在所述第一掩模上形成中间掩模，所述中间掩模覆盖形成在所述第一掩模中的所述第一图案的一部分，并且包括面向所述第一孔的第二孔， - 蚀刻所述盖层（2）穿过第一和第二面孔从而形成第三孔（12）， - 用第一材料填充第三孔（12）以从第一材料形成图案。

2. 发明申请

WO2016097302A2 DYNAMIC PRESSURE SENSOR WITH IMPROVED OPERATION 审中-公开
标题翻译：动态压力传感器，改善操作
公开(公告)号：WO2016097302A2
公开(公告)日：2016-06-23
申请号：PCT/EP2015080511
申请日：2015-12-18
申请人： COMMISSARIAT À L ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES
发明人： FAIN BRUNO , ROBERT PHILIPPE , VERDOT THIERRY
IPC分类号： G01L23/08
CPC分类号： G01L9/0072 , G01L9/12 , G01L23/08 , H04R1/38 , H04R17/02 , H04R19/005 , H04R19/04 , H04R2201/003
摘要： MEMS and/or NEMS pressure sensor including, in a substrate: a stationary portion and a portion that is movable relative to the stationary portion, the movable portion comprising a sensitive element (108) that is able to move in the plane of the sensor under the effect of a pressure variation; a stress gauge (18) for detecting the movement of the sensitive element (108) in the plane of the sensor due to the pressure variation; electrodes (24.1, 24.2) for actuating the sensitive element, said actuating electrodes being borne partially by the stationary portion and partially by the movable portion, said actuating electrodes being commanded so as to automatically control positionwise the movement of the sensitive element (108); and means (C) for commanding the actuating electrodes, which are configured, on the basis of signals emitted by the gauge, to bias the actuating electrodes so as to automatically control positionwise the movement of the sensitive element.
摘要翻译： MEMS和/或NEMS压力传感器，其包括：在基板中：固定部分和可相对于固定部分移动的部分，所述可移动部分包括敏感元件（108），所述敏感元件能够在所述传感器的平面内移动压力变化的影响; （18），用于检测由于压力变化而引起的敏感元件（108）在传感器平面中的移动; 用于致动所述敏感元件的电极（24.1,24.2），所述致动电极由所述静止部分部分地承载并且部分地由所述可动部分承载，所述致动电极被命令以自动地控制所述敏感元件（108）的运动的位置; 和用于命令所述致动电极的装置（C），所述致动电极基于由所述量表发出的信号而被配置为偏压所述致动电极以便自动地控制所述敏感元件的运动的位置。

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