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1. 发明申请

WO2014020874A1 真空・加圧フィルム貼着装置及び真空・加圧フィルム貼着方法审中-公开
标题翻译：真空/加压膜粘合装置和真空/压缩胶片粘合方法
公开(公告)号：WO2014020874A1
公开(公告)日：2014-02-06
申请号：PCT/JP2013/004541
申请日：2013-07-25
申请人：ミカドテクノス株式会社
发明人：佐藤　豊樹 , 北澤　健一
IPC分类号： B29C51/10 , B29C51/12
CPC分类号： B29C51/421 , B29C51/04 , B29C51/10 , B29C51/18 , B29C51/262 , B29C51/303 , B29C2791/006
摘要：加熱軟化したフィルムがたるむ量を少なくし、しわを減少する、フィルムを複数の被加工品に貼り付ける真空・加圧貼り付け装置であり、１）上枠体固定板に取り付けられた上枠体と、２）上枠体に配置した加熱ランプと、３）上枠体の下端部の複数の窓穴を有する上ガイドプレートと、４）該窓穴に対応して複数の窓穴を有し、下チェンバーの下枠体の上端部に載置され、上ガイドプレートとの間にフィルムを挟む下受けプレートと、５）被加工品を窓穴に対応して下受けプレートの下方に載置する置板と、６）下受け板と上ガイドプレートの間にフィルムを挟んだ状態で、被加工品をフィルムに押しつける第１のシリンダと、７）上チェンバーあるいは下チェンバーを移動させて、上枠体の下端部と下枠体の上端部とを気密に接触させる第２のシリンダと、８）上チェンバー内と下チェンバー内を真空脱気する真空手段と、９）上チェンバー内を高圧とする高圧手段とから構成される。
摘要翻译：一种用于将膜固定在多个工件上的真空/加压粘合装置，该装置减少热软化膜的下垂量并减少皱纹。该装置由以下部件构成：1）附接到上框架固定板的上框架; 2）设置在上框架上的加热灯; 3）作为上框架的下端并具有多个窗孔的上导板; 4）具有与所述窗孔相对应的多个窗孔的下接收板装载在下室的下框架的上端，并且与上引导板在其间夹住薄膜; 5）用于将工件装载在下容纳板下方以对应于窗孔的托盘; 6）当薄膜被夹持在下接收板和上引导板之间时，用于将薄片上的工件压在第一圆筒上; 7）用于通过移动上部腔室或下部腔室将上部框架的下端和下部框架的上端端部进入气密接触的第二气缸; 8）真空装置，用于抽空上室的内部和下室的内部; 和9）用于在上部室内使压力高的高压装置。

2. 发明申请

WO2007013212A1 真空高圧充填装置审中-公开
标题翻译：真空高压填充设备
公开(公告)号：WO2007013212A1
公开(公告)日：2007-02-01
申请号：PCT/JP2006/310387
申请日：2006-05-24
申请人：ミカドテクノス株式会社 , 伊藤英敏
发明人：伊藤英敏
IPC分类号： B01J3/00 , A23L1/025 , B22D19/00 , B22D29/00 , B22F3/26 , B23P6/00
CPC分类号： B22D19/00 , B22D19/14 , B22F3/26 , B22F2998/00 , B22F3/003
摘要：　本発明は、有孔被加工品に充填液体に浸漬させる際に、充填率アップ及び含浸時間短縮をできる真空高圧充填装置を提案する。該真空高圧充填装置は、２つの上下分割隔壁ユニット部からなる開閉可能な気密性隔室ユニットと、隔室ユニットを開閉密封する隔室ユニット開閉機構と、隔室ユニットに対して設けた真空吸引口と加圧口と、該隔室ユニット内に配置され充填液体を収容する液槽と、該隔室ユニット内に配置された有孔被加工品用保持具と、該液槽内の充填液体と有孔被加工品用保持具とを隔室ユニット内で相対移動させ該液槽内の充填液体に対して有孔被加工品を浸漬して引揚げる昇降機とを備えたる。隔室ユニット開閉機構が前記２つの上下分割隔壁ユニット部を互いに気密に当接することによって隔室ユニットを閉鎖密封し、２つの上下分割隔壁ユニット部を離間させることによって隔室ユニットを開く。本発明にかかる真空高圧充填装置を用いることによって潤滑油含浸メタル、熱硬化性樹脂含浸鋳物等の複合材料を得ることが出来る。　
摘要翻译：一种真空高压填充设备，其中填充率可以增加，并且当多孔工件浸入填充液体时可以缩短浸渍时间。真空高压填充设备包括一个可开启/关闭的密封分隔室单元，由两个上下分隔壁单元组成，一个用于密封隔室单元的机构，一个真空吸入口和一个用于分隔开的加压开口腔室单元，布置在分隔室单元中并容纳填充液体的液体容器，布置在分隔室单元中的用于多孔工件的保持器，以及用于移动液体罐中的填充液体的电梯和用于多孔工件的保持器相对地在分隔室单元中，以将多孔工件浸入液体罐中的填充液体中，然后提起多孔工件。打开/关闭分隔室单元的机构通过使上下分裂隔壁单元彼此密封接触而密封隔室单元，并通过分离上下分隔壁单元而打开分隔室单元。复合材料，例如使用本发明的真空高压填充设备可以获得浸渍有润滑剂的金属或浸渍有热固性树脂的铸件。

3. 发明申请

WO2013035251A1 真空加熱接合装置及び真空加熱接合方法审中-公开
标题翻译：真空热连接装置和真空热连接方法
公开(公告)号：WO2013035251A1
公开(公告)日：2013-03-14
申请号：PCT/JP2012/005198
申请日：2012-08-20
申请人：ミカドテクノス株式会社 , 伊藤隆志 , 佐藤豊樹
发明人：伊藤　隆志 , 佐藤　豊樹
IPC分类号： H01L21/56 , B29C65/48 , B30B15/34
CPC分类号： H05K3/305 , B30B5/02 , B30B11/027 , B30B15/34 , B32B37/1009 , B32B37/1284 , B32B2457/12 , B32B2457/14 , H01L24/32 , H01L24/75 , H01L24/83 , H01L2224/2929 , H01L2224/293 , H01L2224/32225 , H01L2224/75102 , H01L2224/75315 , H01L2224/75316 , H01L2224/75317 , H01L2224/83001 , H01L2224/8309 , H01L2224/83191 , H01L2224/83203 , H01L2224/83209 , H01L2924/07802 , Y02P70/613 , Y10T29/53174 , Y10T29/53191 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
摘要：　真空中で接着層に空気の混入を防止しながら、微小な押圧力の調節を可能にして、適度な加圧下で接着剤がはみ出すのを極力抑え良好な厚みの接着層を形成し、素子を基板に真空加熱接合する。　駆動ユニットによって上枠部材の下端部を下板部材の周辺部に気密に摺動シールさせて内部に真空隔壁を形成し、加圧剥離フィルムを素子の上面に接触させ大気圧加熱下に軟化させ、真空チェンバー内を真空引きし、さらに下板部材と中間部材とを近接する方向に相対移動することによって、加圧剥離フィルムの外周部を下板部材の基板置台上面と内方枠体の下面との間に気密に保持した状態とし、真空チェンバー中の加圧剥離フィルム上方空間に大気圧あるいは大気圧より高い圧力をかけて、加圧剥離フィルムを基板及び素子の外表面に密着させて、素子を基板に接合する、真空加熱接合装置。
摘要翻译：在本发明中，能够在防止空气在真空中进入粘合层的同时进行微小的按压力调节，以防止在中等压力下尽可能地脱出粘合剂，以便形成具有适当厚度的粘合层，并且通过真空热粘合将器件结合到衬底。利用该真空热粘合装置，驱动单元使顶部框架构件的底部滑动以气密地密封底板构件的周边，以在其中形成真空分隔件，使压力释放膜与在大气压力下通过加热而软化，真空室被抽真空，压力释放膜的周边气密地保持在底板构件的基板安装件的顶表面和内板的底表面之间通过移动底板构件和相对于彼此更靠近的中间构件，将大气压力或高于大气压的压力施加到在真空室中的压力释放膜上方形成的空间，以使压力释放膜以紧密地附着到基板和装置的外表面上，以便将装置粘合到基板上。

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